课题二压电传感器的转换原理.pptxVIP

课题二 压电传感器的转换原理;压电传感器是利用某些半导体材料的压电效应来实现由力至电量的转化，属于有源传感器类。由于其灵敏系数高，信噪比高，使用频带宽，体积小，方便耐用等优点已广泛应用在工业、军事及民用等方面。压电传感器材料一般有三类：压电单晶、压电陶瓷和有机压电薄膜。 ;1．压电转换元件的工作原理 ; （a）材料受压 （b）材料受拉 （c）材料受压 （d）材料受拉;① 石英单晶分人工石英和天然石英。它们是单晶中使用频率最高的一种传感器。其特点是介电和压电常数的温度稳定性好，如图2-15所示。适用的工作温度范围宽，动态响应快，机械强度大，弹性系数高，稳定性好。;石英晶体的外形是规则的六角棱柱体，它有三个晶轴，如下图所示。;② 压电陶瓷是多晶体。最常见的有钛酸钡、锆钛铅系列等。压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向，从而存在一定的电场。在无外电场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷内极化强度为零，经过人工极化后，保留很强的剩余极化的情况下才能作为压电材料使用 。;③ 有机压电薄膜随着科技的进步发展也较快。它既具有高分子材料的柔软性又具有压电陶瓷的特性，可以做成较大面积，主要用于微压测量和机器人的触觉。 ;（3）压电传感器的结构 压电传感器是一种有源传感器，同时又是一个电容器，其结构如图2-17（a）所示。它是在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，引出两个电极。实际应用中常将两个以上晶片进行串联或并联。如图2-17（b）、（c）所示，就如同将两个电容器串联和并联一样。串联输出的电压高，自身电容小；并联输出电荷量大，电容量大。串联主要用在以电压为输出量及测量电路输入阻抗很高的场合，而并联由于时间常数大，主要用于以电荷为输出量的场合，适于测量缓变信号。;（a）压电晶片 （b）串联 （c）并联;（a）电荷源等效电路 （b）电压源等效电路 ;下面简单介绍电荷型放大电路，如图2-19所示。 ;图2-19（a）中Ra为压电传感器的绝缘电阻，Cc为连接电缆的传输电容，Ri为前置放大器的输入电阻，Ci为前置放大器输入电容；图（b）中为等效综合电容， =Ci+Ca+Cc， 即为等效综合电阻，两图中Rf 、Cf为反馈电阻和电容，分析计算可得输出电压;2．几种常见的压电传感器;图2-20 压力式单向测力传感器结构图 ;（2）压电式加速度传感器 压电式加速度传感器结构如图2-21所示。主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成，整个部件装在外壳内，并用螺栓加以固定。当压电式加速度传感器和被测物体一起受到冲击振动时，压电元件受质量块惯性力的作用，根据牛顿第二定律，此惯性力F是加速度a的函数，即 F=ma （2-11） 式中 F——质量块产生的惯性力； m——质量块的质量； a——加速度。;图2-21 压电式加速度传感器结构图;惯性力F作用于压电元件上而产生电荷q，当传感器选定后，质量块的质量m为常数，则传感器输出电荷q为 q=d11F=d11ma （2-12） 式中 d11——压电系数。 由式（2-12）可见，压电式测力传感器输出电荷q与加速度成正比。因此，测得加速度传感器输出的电荷便可知加速度的大小。;;两者时间差为;二、电容式传感器;1．电容式传感器工作原理 电容传感器的工作原理可从平板电容器加以说明，如图2-23所示。由物理学可知，两平板组成的电容器，如不考虑边缘效应，其电容量可用下式表示;2．变介电常数型电容传感器 ;电极板间电容C等于气体介质间电容C2与液体介质间电容C1之和，相当于两个电容器并联，即;3．变面积型电容传感器 变面积型电容传感器结构原理如图2-25所示。利用图2-25（a）分析，当上部平板向左位移x后，电容量由 变为;平板形差动电容 ;阶段小结 压电传感器是利用压电材料本身固有的压电效应，将外加的压力转换成电荷变化量，再通过电荷（或电压）放大后，检测其对应的压力。电容式传感器是将外加力转变成传感器电容量的变化，然后再通过一定的电路将此电容的变化转化为