传感器与检测技术教学课件作者王晓鹏第６章　环境量传感器.pptVIP

第 ６ 章 　环 境 量 传 感 器 ６.１　气 敏 传 感 器 ６.２　湿 敏 传 感 器 返回 ６.１　气 敏 传 感 器 ６.１.１　气 敏 传 感 器 的 工 作 原 理 气 体 种 类 繁 多 ， 性 质 各 不 相 同 ， 不 可 能 用 一 种 传 感 器 检 测 所 有 类 别 的 气 体 ， 能 实 现 气 －电 转 换 的 传 感 器 种 类 很 多 ， 目 前 实 际 使 用 最 多 的 是 半 导 体 气 敏 传 感 器 。 半 导 体 气 敏 传 感 器 是 利 用 气 体 在 半 导 体 表 面 的 氧 化 还 原 反 应 导 致 敏 感 元 件 阻 值 变 化 而 制成 的 。 半 导 体 气 敏 材 料 吸 附 气 体 的 能 力 很 强 ， 当 半 导 体 器 件 被 加 热 到 稳 定 状 态 ， 在 气 体 接 触半 导 体 表 面 而 被 吸 附 时 ， 被 吸 附 的 分 子 首 先 在 表 面 物 性 自 由 扩 散 ， 失 去 运 动 能 量 ， 一 部 分 分子 被 蒸 发 掉 ， 另 一 部 分 残 留 分 子 产 生 热 分 解 固 定 在 吸 附 处 。 下一页 返回 ６.１　气 敏 传 感 器 ６.１.２　电 阻 型 气 敏 元 件 电 阻 型 气 敏 元 件 在 目 前 使 用 得 较 为 广 泛 ， 按 其 结 构 可 以 分 为 烧 结 型 、 薄 膜 型 和 厚 膜 型 。这 里 主 要 介 绍 烧 结 型 和 厚 膜 型 两 种 气 敏 元 件 。 １.烧 结 型 气 敏 元 件 烧 结 型 气 敏 元 件 的 制 作 是 将 一 定 比 例 的 敏 感 材 料 （ ＳｎＯ ２ 、 ＺｎＯ 等 ） 和 一 些 掺 杂 剂 （ Ｐｔ、Ｐｂ 等 ） 用 水 或 黏 合 剂 调 和 ， 经 研 磨 后 使 其 均 匀 混 合 。 然 后 将 混 合 好 的 膏 状 物 倒 入 模 具 ， 埋入 加 热 丝 和 测 量 电 极 ， 经 传 统 的 制 陶 方 法 烧 结 。 最 后 将 加 热 丝 和 电 极 焊 在 管 座 上 ， 加 上 特 制的 外 壳 就 构 成 了 器 件 。 上一页 下一页 返回 ６.１　气 敏 传 感 器 烧 结 型 气 敏 元 件 可 分 为 内 热 式 和 旁 热 式 两 种 。 内 热 式 器 件 的 管 芯 体 积 较 小 ， 加 热 丝 直 接埋 在 金 属 氧 化 物 半 导 体 材 料 内 ， 其 特 点 是 制 作 工 艺 简 单 ， 成 本 低 ， 功 耗 小 。 内 热 式 气 敏 元 件如 图 ６ －２ 所 示 ， 图 中 数 字 分 别 代 表 电 极 。 如 图 ６ －３ 所 示 ， 旁 热 式 气 敏 元 件 和 管 芯 是 在 陶 瓷 内 放 置 高 阻 加 热 丝 ， 在 瓷 管 外 涂 梳 状电 极 ， 再 在 电 极 外 涂 气 敏 半 导 体 材 料 ， 这 种 结 构 形 式 其 稳 定 性 有 了 明 显 的 提 高 。 上一页 下一页 返回 ６.１　气 敏 传 感 器 ２.厚 膜 型 气 敏 元 件 厚 膜 型 气 敏 元 件 是 将 ＳｎＯ ２ 和 ＺｎＯ 等 材 料 与 硅 凝 胶 混 合 成 厚 膜 胶 ， 把 厚 膜 胶 用 丝 网 印 制到 装 有 铂 电 极 的 氧 化 铝 绝 缘 基 片 上 ， 在 ４００ ℃ ～８００ ℃高 温 下 烧 结 １ ～２ ｈ 制 成 。 其 优 点 是 一致 性 好 ， 机 械 强 度 高 ， 适 于 批 量 生 产 ， 其 结 构 如 图 ６ －４ 所 示 。 ６.１.３　气 敏 传 感 器 的 应 用 半 导 体 气 敏 传 感 器 由 于 具 有 灵 敏 度 高 、 响 应 时 间 长 、 成 本 低 等 优 点 ， 广 泛 地 应 用 于 气 体泄 漏 报 警 、 自 动 控 制 、 自 动 测 试 等 。 上一页 下一页 返回 ６.１　气 敏 传 感 器 １.检 漏 仪 检 漏 仪 （ 或 称 探 测 器 ） 是 利 用 气 敏 元 件 的 气 敏特 性 ， 将 其 作 为 电 路 中 气 － 电 转 换 元 件 ， 配 以 相 应的 电 路 、 指 示 仪 表 或 声 光 显 示 部 分 而 组 成 的 气 体 探测 仪 器 。 这 类 仪 器 通 常 都 要 求 有 高 的 灵 敏 度 。 ２.自 动 控 制 仪 器 自 动 控 制 仪 器 是 利 用 气 敏 元 件 的 气 敏 特 性 实现 电 气 设 备 的 自 动 控 制 仪 器 。 如 电 子 灶 烹 调 自 动控 制 、 换 气 扇 自 动 换 气 控 制 等 。 ３.测