修改第十四章电子探针.ppt

§13-1 电子探针仪的结构与工作原理§13-2 电子探针仪的分析方法及应用 3 收集不同波长X射线的方法 思路：变换分光晶体的位置，使θ角发生变化。 方法： a直进式波谱仪: X射线照射分光晶体的方向固定，即出射角相同，不同波长的射线穿出样品的吸收条件相同。 b 回转式波谱仪：聚焦圆圆心不动，分光晶体和检测器在聚焦圆圆周上以1:2的角速度转动。 此法吸收条件不同，易因吸收造成误差。 2 实际分析时 Ky加以修正，则浓度 Z——原子序数修正项 A——吸收修正项 F——二次荧光修正项 定量分析对原子序数大于10、质量浓度大于10%的元素 修正后浓度误差在±5%以内。 图 BaF2晶界的线扫描分析 (a)形貌像及扫描线位置；(b)O及Ba元素在扫描线位置上的分布 Ba元素沿直线分布均匀，O沿晶界有偏聚 3. 面分析 将谱仪固定在接收某一元素特征X射线信 号的位置上，让电子束在样品表面作光栅扫 描，则在荧光屏上得到该元素的面分布图像， 图像中亮区表示该元素含量较高。 图 ZnO-Bi2O3陶瓷烧结表面的面分布成分分析 (a)形貌像 (b)Bi元素的x射线面分布像 Bi元素沿晶界偏聚 二. 定量分析简介 1 理想情况： Iy——样品中该元素（y元素）的X-ray强度； Iy0′——在同样条件下纯Y元素的X射线强度； Ky——理想情况下样品中Y元素的质量浓度。 * * * * * * * * * 电子探针的功能——微区成分分析。 电子探针成分分析原理——用细聚焦电子束入 射样品表面激发出样品元素的特征X射线，分析特 征X射线的波长（或能量），即可知样品中所含元 素的种类（定性分析）；分析X射线的强度，可知 样品中对应元素含量的多少（定量分析）。 结构：1 电子探针的镜筒及样品室和扫描电镜无本质区别，因此常和SEM组合使用。 2 电子探针分析的信号为样品的特征X射线，其检测系 统为X射线谱仪： 波谱仪（WDS）——测定X射线的特征波长； 能谱仪（EDS）——测定X射线的特征能量。 图13-1 电子 探针仪的结构示意图 一. 波长分散谱仪（波谱仪WDS） 1 工作原理 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品表 面（约一微米乃至纳米数量级的作用体积）的特征 x射线， 利用该x射线在晶面间距d已知的分光晶体 中产生衍射，通过布拉格方程2dsinθ=λ可获知特 征波长λ，通过莫塞莱定律可知该波长对应的原子序 数（即定性分析），根据衍射强度可获知元素的多 少（定量分析）。 图 13-2 分光晶体 聚焦目的：提高X射线收集效率 聚焦方法： a 约翰(Johann)型聚焦法——ρ=2R，此法为半聚焦法。 b 约翰逊(Johansson)型聚焦法——ρ=R，为全聚焦法。 2 聚焦方式 a 约翰(Johann)型聚焦法 b 约翰逊(Johansson)型 聚焦法 图13-4 两种常见的谱仪 (a)回转式波谱仪 (b)直进式波谱仪 ㈡ 分析方法 1 波谱仪谱线图 例：定点分析谱线图，横坐标为波长，纵坐标为强度。 通过波长可确定元素的种类，通过强度可确定元素的含量。 图 合金钢(0.62Si，1.11Mn，0.96Cr，0.56Ni，0.26V，0.24Cu)定点分析的谱线图 2 波谱仪分析成分时应注意的问题： ⑴ 分析点位置的确定 波谱仪上带有光学显微镜，可观察电子束打到样品上的 位置，物镜镜片中心有圆孔，以使电子束通过。 ⑵ 分光晶体固定后，衍射晶面的面间距不变 一个分光晶体能覆盖的波长范围有限，只能分析某一原 子序数范围的元素，因此一个谱仪中常装两块晶面间距不同 的晶体。而一台电子探针仪常装2~6个谱仪，可以同时测定 几个元素。 二. 能量分析谱仪（能谱仪EDS） ㈠ 工作原理 能谱仪是利用不同元素X射线光子的特征能量不同进行成分分析的。 能谱分析流程为： 电子束 特征X射线 激发出 电子-空穴对 电流脉冲 电压脉冲 多道脉冲高度分析器，分类计数 绘制能谱图。 图13-5 锂漂移硅谱仪方框图 (a)能谱曲线 图 能谱仪和波谱仪的谱线比较 (b)波谱曲线 如上图：横坐标为特征能量——确定元素种类 纵坐标为强度——确定