薄膜生长机理资料教程.pptVIP

薄膜的形成过程和生长模型 薄膜的形成过程是指： 形成稳定核之后的过程。 薄膜生长模式是指：薄膜形成的宏观形式。 成长有三种模式： 岛状生长形式； 层状生长形式； 层岛结合形式。 ;薄膜的形成过程可分为四个主要阶段 岛状阶段 在透射电子显微镜观察过的薄膜形成过程照片中，能观测到最小核的尺寸约为2～3nm左右。在核进一步长大变成小岛过程中，平行于基体表面方向的生长速度大于垂直方向的生长速度。这是因为核的长大主要是由于基体表面上吸附原子的扩散迁移碰撞结合，而不是入射蒸发气相原子碰撞结合决定的。 例如，以MoS2为基片，在400℃下成膜时，Ag或Au膜的起始核密度约为5×1014m-2，最小扩散距离约为50nm。 这些不断捕获吸附原子生长的核，逐渐从球帽形、圆形变成多面体小岛。; 对于岛的形成可用热力学宏观物理量如表面自由能，也可用微观物理量如结合能来判别。 利用宏观物理量预测三维岛成长的条件：基体与薄膜的自由能之差小于基体与薄膜的界面自由能。例如：基体和薄膜不能形成合金的情况下，因为薄膜自由能＞0，如果基体自由能＜界面自由能，那么上述关系当然会被满足。如果清楚地知道薄膜和基体不能形成化合物，即使薄膜自由能的大小不清楚，可以预想它还是按照三维岛的方式成长。 当核与吸附原子间的结合能大于吸附原子与基体的吸附能时，就可形成三维的小岛。是用微观物理量判别岛成长的条件。; 联并阶段 随