关于TFTLCD中GatePad腐蚀的分析及改善.docVIP

关于TFT- LCD 中 Ga 关于 TFT- LCD 中 Ga t e Pa d 腐蚀 的分析及改善 路林林 ，于 洋，徐 帅 （北京京东方光电科技有限公司 ，北京 100176） 技 术 交 流 摘 要 ：腐蚀问题一直是影响产品品质的一大罪魁，在 TFT-LCD（thin film transistor-liquid crystal display）以及其它显示器件产品中，由于腐蚀造成的亮线、异常显示等不良严重影响到产品的使用效 果。 文章结合实际生产情况，对栅极 Pad 腐蚀多发不良进行了理论研究，并从设计、工艺等角度提出 了多项解决方案。 根据实验测试结果，腐蚀问题得到了很好的控制，不良比率降低 80%以上，产品品 质得到了有效的保证，并为相关领域实际生产及研究奠定了一定的理论基础。 关键词 ： 薄膜晶体管 ；栅极；腐蚀 中图分类号 ：TN141.9 文献标识码 ：B Analysis and Improvement of Gate Pad Erosion on TFT-LCD LU Lin-lin, YU Yang, XU Shuai (Beijing BOE Optoelectronics Technology Co., Ltd., Beijing 100176, China) Abstract: For TFT- LCD and othe r dis play products, e ros ion is a re lative ly com m on de fe ct that de grade s the dis play quality gre atly, s uch as line de fe ct, abnorm al dis play, e tc. Failure m e chanis m of gate pad e ros ion is re s e arche d the ore tically according to the practical m as s production. Bas e d on de s ign and proce s s, s e ve ral s olutions are brought forw ard in the pape r. The te s t re s ult indicate s that e ros ion is e ffe ctive ly pre ve nte d and an 80% re duction of de fe ct ratio is achie ve d. The re s e arch provide s a the ore tical bas is for practical production w ith re gard to corre lative indus trie s. Keywords: TFT; gate pad; e ros ion 引 言 负责数据信号的传输，栅极（gate drive r）负责扫描信 号的传输，通过控制液晶分子的偏转角度实现不同灰 阶的显示[1]。其中，负责源极数据信号传输的 IC 及控 制 栅 极 开 启 / 关 闭 功 能 的 驱 动 IC 一 般 采 用 COF （chip on film） 封装方式，COF 通过各向异性导电胶 （ACF）与 TFT Pad 压合在一起[2]。 凭借着低功耗、轻量化和低辐射等众多优势， TFT- LCD 已 逐 渐取代传统的阴极射线管显示器 （CRT）而成为现代显示领域的主导。TFT- LCD 目前 TFT- LCD 制作工艺复杂，而伴随 TFT- LCD 制作工艺复杂，而伴随的缺陷不良也 种类繁多。其中由于 COF 压合区域 Pad 腐蚀而导致 的产品返品率一直居高不下，主要表现为 X 向 （纵 向）或 Y 向（横向）亮线不良，其中 Y 向不良的发生比 率更高。由于该不良的不可预见性及发生具有一定的 时效性（在客户端使用一定时间后才发生，且多雨潮 湿气候环境下发生比率较高），而成为困扰产品可靠 性的难题，对于其预防和管控方法也成为 TFT- LCD 制造商重点研究的一项课题。本文将对该类型腐蚀不 良的形态、影响因素等进行分析，并结合多年的工作 经验对不良的管控和改善方法进行探讨，希望能为实 际生产提供参考。 技 术 交 流 不良形态及原因分析 1 本文以 19in 产品为例，以发生比率较高的 Y 向 亮线不良为研究对象。图 1 所示为液晶屏正常点亮 状态下的不良表现，主要原因为某一条或若干条栅线 Pad 由于腐蚀而开路，栅极控制信号无法传输到液晶 屏 内（pane ）l ，数据信号不能导入