半导体真空帮浦转子之设计与模型制作.pdf

東南技術學院機械工程系 專題製作報告 半導體真空幫浦轉子之 設計與模型製作 指導老師 ：周榮源 老師 學 生 ：何靖國 王錦智 林亮言 倪啟彬 葉朝文 蔡銘昇 中華民國90 年 12 月 28 日 東南技術學院機械工程系 專題製作評審老師審定書 何靖國 林亮言 葉朝文 王錦智 倪啟彬 蔡銘昇 君所提之報告 經過審議後 ，認為符合專題製作標準 專題製作評審老師 專題製作指導老師 老師 中華民國 90 年 12 月 28 日 專 題 製 作 摘 要 專題製作名稱 ：半導體真空幫浦轉子之設計與 模型製作 乾式真空幫浦顧名思義是在幫浦進氣 、壓縮 、排氣行程中 ，轉子 運動所掃過的行程中 ，並不需要油脂來潤滑或密封 ，因此可避免油氣 回流 ，對造成系統的污染 。並影響真空度 。而其中魯式幫浦具有加工 容易 、良好抗腐蝕性 、保養維修容易 、與安全性高等優點 。所以在乾 式真空幫浦中應用最廣泛 。 本專專題有鑑於此 ，利用專題指導老師以前所分析研究過的魯式 轉子的外形曲線理論 ，再利用 Visual Basic 物件導向程式來撰寫程式 ， 作驗證老師以前的理論是否能開發出此軟體及應用 ，而正好學校又有 CNC 線切機機設備 ，所以用 CNC 線切割機來製造轉子外形 ，看看是否 可行 ，經由這些方式來驗證理論是否可行 ，是否可用物件導向程式設 計繪圖 ，及線切割機製造的可能性為何 。 本專題就是要利用: 一 、幾何解析方式分析 、設計並繪製魯氏真空幫浦之外形曲線 。 二 、利用Visual Basic 6.0撰寫程式 ，設計出繪圖程式介面 ，並利用 其繪製真空幫浦轉子外形曲線 。 三 、直接於程式中轉出產生NC碼 ，進而利用線切割機來做加工完成其 外形曲線 。 四 、做出之真空幫浦轉子 ，可以供未來教學及學習之用 。 指導老師 ：周榮源 老師 學 生 ：何靖國 、林亮言 、葉朝文 王錦智 、倪啟彬 、蔡銘昇 中 華 民 國 90 年 12 月 28 日 目錄 第一章 前言2 第二章 真空幫浦之介紹 2.1 真空的基本認知3 2.2 真空之技術應用3 2.3 真空的分類與用途4 2.4 何謂真空幫浦4 2.5 真空幫浦有何分類5 2.6 真空幫浦的功能與用途8 2.7 真空幫浦之現況10 第三章 魯式真空幫浦之介紹 3.1 魯式真空幫浦之簡介11 3.2 魯式真空幫浦之特性與原理12 3.3 魯式幫浦之幾何分析 14 第四章 Visual Basic 程式繪圖 4.1 程式選擇20 4.2 建立繪圖介面20 4.3 如何繪圖21 4.4 轉 NC 碼23 第五章 線切機加工 5.1 線切割原理23 5.2 加工步驟 、方法24 5.3 加工注意事項29 第六章 結論30 參考文獻31 附錄32 1