多自由度短行程超精密平面电机技术发展综述.pdfVIP

2013年7月 电工技术学报 V01．28No．7 第28卷第7期 TRANsACTIONSOFCHINAELECTROTECHNICALSOCIETY Jul． 2013 多自由度短行程超精密平面电机 技术发展综述 寇宝泉 张 赫 (哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院 哈尔滨 150001) 摘要 多自由度短行程超精密平面电机具有高精度、高速度、高频响等优点，在半导体光刻 加工、超精密测量、生物芯片技术等现代精密、超精密加工装备领域具有广阔的应用前景，近年 来受到学术界的广泛关注。本文介绍了多自由度短行程超精密平面电机的研究现状，对近年来国 内外用于实现超精密定位的主流结构进行了综述，总结了目前超精密平面电机的主要研究内容与 关键技术，并讨论了其未来的发展趋势。 关键词：平面电机超精密定位 多自由度 短行程 重力补偿器 中图分类号：TM35 ofMulti—DOF