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PAGE PAGE 25 第五章 压电式传感器 概述 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的有源传感器。当某些材料受力作用而变形时，其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点，因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 5.1 压电效应及压电材料 1. 压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，其内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷，当外力去掉后，其又重新恢复到不带电状态，这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转为电能的现象，称为“正压电效应”。相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。 具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换。 压电元件 压电元件 机械量 电量 逆压电效应 逆压电效应 电能 机械能 压电效应 图5-1 压电效应示意图 2. 压电材料 石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。前者为晶体，后者为极化处理的多晶体。他们都具有较大的压电常数，机械性能良好，时间稳定性好，温度稳定性好等特性，所以是较理想的压电材料。 压电材料的主要特性参数有：  压电常数：压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出的灵敏度。 弹性常数：压电材料的弹性常数、 刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。 机械耦合系数：在压电效应中，其值等于转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根； 它是衡量压电材料机电能量转换效率的一个重要参数。 电阻压电材料的绝缘电阻：将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。 居里点：压电材料开始丧失压电特性的温度点称为关键点，有的资料上称为居里点。 （1） 石英晶体 石英晶体化学式为SiO2（二氧化硅），是单晶体结构。它的转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃（压电系数不随温度而改变）、工作湿度高达100%、稳定性好。 图5-2 石英晶体外形 上图表示了天然结构的石英晶体外形。它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。 其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x轴称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。 把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”；把沿机械y方向的作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”；沿光轴z方向受力时不产生压电效应。 图5-3 晶片示意图 若从晶体上沿y方向切下一块如图所示晶片，当在电轴方向施加作用力 时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷Qx，其大小为 (式5-1) 式中： ——x方向受力的压电系数；——作用力。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力 ，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷Qy，其大小为： （式5-2） 式中： ——y轴方向受力的压电系数， ；a、b——晶体切片长度和厚度。 电荷Qx和Qy的符号由所受力的性质决定。 石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的xy平面上的投影，等效为一个正六边形排列。图中“+” 代表 离子，“-” 代表氧离子 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3= 0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。 当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，即（P1+P2+P3）x 0 。在x轴的正方向出现正电荷，电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。 图5-4 石英晶体压电模型 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体变形如图（c）所示，与图（b）情况相似，P1增大，P2、P3 减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为负电荷。在y轴方向上不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以