光学惯性测量和导航系统第二章关键惯性器件.ppt

按照信号传感器的种类分类 变阻式(也称电位计式)加速度计 电容式加速度计 电解液式加速度计 压电式加速度计 半导体式加速度计 电感或差动变压器式加速度计 电阻应变丝式加速度计 振梁加速度计 光学加速度计 隧道加速度计 气体加速度计 2.4 加速度计概述 按活动系统的支撑方式分类 轴承摆式加速度计 挠性支撑加速度计 质块弹簧加速度计 悬浮加速度计 2.4 加速度计概述 按其它方式分类 精度：高精度（优于10E-4）、中精度（10E-3～10E-4）、低精度（劣于10E-2） 量限：高过载（大于10000g）、大过载（100g～10000g）、中过载（1g～100g）、小过载（小于1g） 频率范围：高频（10千赫以上）、中频（100赫～10千赫）、低频（直流～100赫） 2.4 加速度计概述 2.4 加速度计概述 主要性能指标 零偏重复性（年、月、日） 标度因数（年、月、日） 零偏温度敏感系数 标度温度敏感系数 分辨率、阈值 量程 液浮摆式加速度计是比较成熟、应用较广的一种加速度计。液浮摆式加速度计是一种闭环的、摆组件被液体悬浮的宝石支承摆式加速度计。检测质量被液浮悬浮在壳体里，并用宝石轴承支承定位。根据摆组件被悬浮的程度可分为全浮式和半浮式。 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 由于浮子处于悬浮状态，减少了支承的正压力，支承轴可以做得很细，减小了库仑摩擦力，改善了阈值。 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 液浮摆式加速度计原理图 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 当敏感加速度时，在惯性力的作用下，浮子围绕支点转动，信号传感器线圈偏离其中心未知，产生与偏转角成比例的信号电压。经过伺服放大器放大并加到力矩器线圈上，产生相应的电磁力矩，使浮子再回到原来的平衡位置。力矩器电流的大小反映了所敏感加速度的大小，通过采样电阻转换成输出电压。 液浮摆式加速度计 2.5 几种机械式加速度计 石英挠性加速度计是具有国际先进水平的新型高级传感器。它精度高、长期稳定性好、体积小巧。是对加速度、速度、距离、摇摆、振动、倾斜等物理量敏感、测量、控制方面的换代产品。 石英挠性加速度计由传感表头组件和伺服电路组件两部分组成。 美国Honeywell公司的Q-FLEX系列中的QA3000是目前级别最高的产品。具有质量稳定、可靠、长期性能好的特点。 石英挠性加速度计 2.5 几种机械式加速度计 石英挠性加速度计表头结构 表头组件的各组成部分如图所示，包括检测质量组件、上力矩器组件和下力矩器组件三部分。检测质量组件由镀膜石英挠性片和粘贴在它上面的两个力矩器线圈组成。力矩器线圈和石英挠性片中间的叶片部分构成摆质量。磁钢、导磁帽和上下力矩器线圈组成封闭的磁路。 石英挠性加速度计 2.5 几种机械式加速度计 MOEMS陀螺——国外 美国Northrop公司1991年提出集成光学陀螺方案并实现原理验证，谐振腔品质因数16,样机分辨率400°/s。 美国Honeywell公司、法国CEA-LETI,日本东京大学等致力于环形谐振腔的工艺改进与性能提高技术研究。 通过降低波导损耗和利用波导增益提高谐振腔的品质因数； 波导中各种误差效应的抑制与消除等。 美国Northrop公司（1991） 日本东京大学（2000） 意大利（2005） 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——国外 2000年美国IntelliSense公司在硅基片上研制的抗振动集成光学陀螺工程样机。组装式，集成化程度不高。动态范围200°/s，检测精度0.5°/s。 美国IntelliSense公司（2000） 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——国外 2009年美国Darper实验室提出单片式集成光学陀螺方案。 美国Darper实验室（2009） 目标： 在单片波导上将集成光学陀螺的21个器件集成在一起; 在大幅度降低成本的同时使陀螺体积减小到 0.2 立方英寸（是光纤陀螺的1/50），功耗降至 0.25W（是光纤陀螺的1/10）; 精度可以和实用化的激光陀螺、干涉式光纤陀螺相比拟，达到0.01∽1 o /h（远期目标达到导航级精度0.01∽0.001 o /h）。 2.3 新型光学陀螺 MOEMS陀螺——国内 “十一五”期间国内多家单位开展此方面研究： 北航、浙大在硅基波导上实现了谐振式光学陀螺原理样机，最好测试精度为0.2～0.3 °/s ； 东南大学在有机材料上实现了光学谐振腔； 北航提出基于光学微镜和光子晶体微镜的空间微型谐振腔； 航天时代电子公司、8358所、长春理工等均投入较大精力开展该工作。 国