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2017;MFC定义
MFC原理
MFC分类
MFC参数及部件示意图
热电偶定义
热电偶原理
热电偶分类
热电偶主要参数及规格
;质量流量控制器, 即Mass Flow Controller
质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工业和平面显示器制造和太阳能电子方面。
质量流量:质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量,工作时不受外界的温度和压力的影响。
;有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
;流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力,它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的,简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础,在传感器内部有两根平行的T型振管,中部装有驱动线圈,两端装有拾振线圈,变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时,振动管作往复周期振动,工业过程的流体介质流经传感器的振动管,就会在振管上产生科氏力效应,使两根振管扭转振动,安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号,这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时,振管的主振频率不同,据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
; 质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活,功能强大,性能价格比高,是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下,若仅测量体积流量,则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。在容积式和差压式流量计中,被测流体的密度可能变化30%,这会使流量产生30~40%的误差。随着自动化水平的提高,许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制,也都需要精确的质量流量测量。因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
; 质量流量计可分为两类:一类是直接式,即直接输出质量流量;另一类为间接式或推导式,如应用超声流量计和密度计组合,对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
直接式质量流量计 直接式质量流量计有多种类型,如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。
; (1) 主要参数:
质量流量精度: ±0.002×流量±零点漂移
密度测量精度: ±0.003g/cm3
密度测量范围: 0.5~1.5g/cm3
温度测量范围: ±1°C
(2) 传感器相关数据:
环境温度: -40~60°C
介质温度: -50~200°C
防爆类型: iBⅡBT3
关联设备: 配套变送器
(3) 变送器相关数据:
工作温度: 0~60°C
相对湿度: 95%以下
电 源: 220±10%VAC,50Hz或24±5%VDC,40W ;质量流量控制器示意图:
;MFC内部结构示意图:
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;Horiba MFC介绍:;热电偶是一种感温元件 , 它把温度信号转换成热电动势信号 , 通过电气仪表转换成被测介质的温度。热电偶测温的基本原理是两种不同成份的均质导体组成闭合回路 , 当两端存在温度梯度时 , 回路中就会有电流通过,此时两端之间就存在一种电动势——热电动势,这就是所谓的塞贝克效应。两种不同成份的均质导体为热电极,温度较高的一端为工作端, 温度较低的一端为自由端,自由端通常处于某个恒定的温度下。根据热电动势与温度的函数关系 , 制成热电偶分度表 ; 分度表是自由端温度在 0 ℃ 时 的条件下得到的,不同的热电偶具有不同的分度表。在热电偶回路中接入第三种金属材料时 , 只要该材料两个接点的温度相同 , 热电偶所产生的热电势将保持不变,即不受第三种金属接入回路中的影响。因此 , 在热电偶测温时 , 可接入测量仪表 , 测得热电动势后 , 即可知道被测介质的温度。 ;热电偶是工业中常用的温度测温元件,具有如下特点:
① 测量精度高:热电偶与被测对象直接接触,不受中间介质的影响。
② 热响应时间快:热电偶对温度变化反应灵敏。
③ 测量范围大:热电偶从 -4
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