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微纳光学加工及应用 微纳光学加工及应用 20144214004 孙奇 一、 微纳光学结构 光是一种电磁波，是由同相相互垂直的电场与磁场在空间中以波的形式移动而形成的， [1] 其传播方向垂直于电场与磁场所构成的平面，电磁波能有效的传递能量和动量 。从低频到 高频，电磁波可以分为：无线电波、微波、红外线、可见光、紫外光、X 射线和γ 射线等， 人眼可见波长在380nm 至780nm 之间，如图1 所示。 (a) (b) 图1. (a) 电磁波传播方式 (b) 电磁波按频率分段图（图片来自网络） 传统光学只研究可见光与物质的相互作用，而现代光学已扩展到对全波段电磁波的研究。 随着微加工技术的日臻成熟，电磁波在微纳结构中的传播，散射和吸收等性质开始逐渐被人 [2, 3] 们研究。1987 年，Yabnolovich 和John 首次提出了光子晶体的概念 ；1998 年，Ebbesen 等 人发现在打了周期性亚波长纳米空洞的厚金属膜上存在着超强的光投射峰，这一发现激起了 [4] 对金属周期结构中表面等离激元的研究热潮 。从 1987 年至今，各领域对光学微纳结构的 研究一直在迅猛发展。 1.1 光子晶体 从固体物理的概念中可以得知，当电子在周期性的势场中运动时，由于电子受到周期性 势场的布拉格散射的作用形成了电子的能带结构，同时电子的能带与能带之间在一定的晶格 条件下将存在带隙。在带隙能量范围内的电子其传播是被禁止的。运动的电子实际上也是一 1 微纳光学加工及应用 种物质波。无论何种波动形式，只要其受到相应周期性的调制，都将有类似于电子的能带结 构同样也都可能出现禁止相应频率传播的带隙。 微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构，实现新型光学功能器件。1987 年，Yabnolovitch和 John在讨论如何抑制原子的自发辐射和光子局域的问题时，把电子的能 带概念拓展到光学中，提出了光子晶体的概念。光子晶体就是规律性的三维微结构，其周期 远小于波长，形成光子禁带，通过引入局部缺陷，控制光的传播与分束。同样的，固体物理 晶格中的许多概念都可以类似的运用到光子晶体中，诸如倒格矢空间、布里渊区、色散关系、 Bloch 函数、Van Hove奇点等物理概念。由于周期性，对光子也可以定义有效质量。不过需 要指出的是，光子晶体与固体晶格有相似处，也有本质的区别。如光子服从的是麦克斯韦方 程，电子则服从薛定谔方程；光子是矢量波而电子是标量波；电子是自旋为1/2的费米子，而 光子是自旋为1的波色子，等等。 根据空间的周期性分布的不同，光子晶体可以分为一维、二维和三维光子晶体，如图2 所示。一维光子晶体的材料一般在一个方向上进行周期排列，例如传统的多层薄膜结构；二 维光子晶体表现为材料在平面上进行周期性排列；三维光子晶体具有多种材料排列方式，最 为经典的则为图所示的柴堆结构。 图2. 一维、二维以及三维光子晶体示意图（图片来自网络） 光在光子晶体中传播时会受到材料周期性调制而形成光子带隙，从而禁止频率落在带 隙内的光在晶体中传播，因此由光子晶体做成的器件可以如愿地控制光子运动。光子晶体对 光的调控作用主要体现在如下几个方面。首先，光子晶体具有光子带隙。频率落在带隙中的 电磁波将禁止在晶体中传播。光子带隙有完全带隙和不完全带隙之分：完全光子带隙就是全 方位光子带隙，即一定频率范围内的光波无论其偏振方向或传播方向如何都被禁止传播，如 图3所示；不完全光子带隙则只能在特定方向上禁止光的传播。 2 微纳光学加工及应用