单晶炉操作规程.docVIP

浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q0 2 - 09 版本号： A/1 页码：第 1 页 共 35 页 单晶炉操作规程 生效日期： 2008 年 5 月 30 日 一、目 的： 为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常进行，特制订本规程。 二、范 围： 适用于 FT-CZ2008 型单晶炉的操作。 图 1 FT-CZ2008 型单晶炉 图 2 操作柜 三、依 据： 依据为直拉法生长硅单晶的工艺和 FT-CZ2008 型单晶炉的性能。 批 准 审 核 编 制 修改履历 页 码 内 容 状 态 备 注 浙江昱辉阳光能源有限公司 文件编号： Q0 2 - 09 版本号： A/1 页码：第 2 页 共 35 页 单晶炉操作规程 生效日期： 2008 年 5 月 30 日 四、权责单位： 本规程的权责单位为浙江昱辉阳光能源有限公司硅单晶三厂技术部。 五、作业流程： 作业准备 取单晶和籽晶 石墨件取出冷却 真空过滤器清扫 真空泵油检查与更换 硅料安装 石英坩埚安装 石墨件安装 炉室清扫 石墨件清扫 籽晶安装 抽空、检漏 充氩气、升功率、熔料 温度稳定 引晶和缩颈 热态检漏 降功率、停炉 收尾 等径生长 转肩 放肩 六、作业内容： 1、作业准备 ⑴、进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。 ⑵、开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无异常后方能开炉。 ⑶、准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾