集成电路工艺制造讲座.pptxVIP

集成电路工艺制造;自然界和人类社会的一切活动都在产生信息。信息是客观事物状态和运动特征的一种普遍形式，是人类社会、经济活动的重要资源。 社会的各个部分通过网络系统连接成一个整体，由高速大容量光线和通讯卫星群以光速和宽频带地传送信息，从而使社会信息化、网络化和数字化。 实现社会信息化的网络及其关键部件不管是各种计算机和/或通讯机，它们的基础都是微电子。;集成电路的作用;2020年世界最大的30个市场领域 其中与微电子相关的22个市场：5万亿美元;半导体产业发展历史;第一个晶体管 Bell Labs 1948年;双极逻辑电路 1960年代;Moore定律1965年4月，Gorden Moore;摩尔定律;芯片成本下降;特征尺寸与晶圆;特征尺寸和技术节点;特征尺寸越来越小;1968; 2007年全球半导体厂商 Top 20;IC器件特征尺寸的极限;集成度的发展;单管成本;MOS 晶体管;CMOS工艺;现代CMOS工艺;Intel Pentium IV;电路/版图设计;集成电路设计版图;光刻掩膜版制造;掩模版（光刻版）;掩模版：Mask/Reticle;IC制造过程;圆片制造工艺流程;为什么采用硅材料？;单晶硅生长;从砂子到硅片;硅锭切片;硅锭 硅片;硅片抛光;300mm vs 450mm;氧化;二氧化硅的主要特性;氧化机理;氧化工艺设备;卧式氧化炉;立式氧化炉;干氧氧化;湿氧（水蒸汽