几种新型薄膜材料与应用.pptVIP

图1 碳的相图 为了促进金刚石相生长，抑制石墨相，必须利用各种动力学因素： （1）反应过程中输入的热能或射频功率，微波功率等的等离子体能量、反应气体的激活状态、反应气体的最佳比例、沉积过程中成核长大的模式等对生成金刚石起着决定性的作用。 （2）选用与金刚石有相同或相近晶型和点阵常数的材料作基片，从而降低金刚石的成核势垒。而对于石墨，这却提高了成核势垒。 （3）尽管如此，石墨在基片上成核的可能性仍然存在，并且一旦成核，就会在其核上高速生长，还可能生成许多非晶态碳，因此，需要有一种能高速除去石墨和非晶态碳的腐蚀剂，相比之下，原子氢是最理想的腐蚀剂，它能同时腐蚀金刚石和石墨，但它对石墨的腐蚀速率比腐蚀金刚石的速率高30~40倍，这样就能有效地抑制石墨相的生长。 为了促进金刚石相生长，抑制石墨相，必须利用各种动力学因素： （4）通常用甲烷进行热解沉积。由于石墨的生成自由能大于金刚石，当提高甲烷浓度时，石墨的生长速率将会提高，而且比金刚石还快，故一般采用低的甲烷含量，一般低于1%。 （5）若沉积基片的温度超过1000℃，则石墨的生成速率就会大幅度增加，考虑到工艺上的可能性，一般采用基片温度约为800~1000℃。 （6）原子氢的存在有利于稳定sp3键。为了得到较高比例的原子氢，可以采用微波、射频或直流电弧放电，热丝或火焰分解，以及催化等方法。 （7）基片的表面状态对金刚石的成核有很大影响。