激光自动孔径测量仪.pdf

~O.Q~Q~O~O.O~O~O_~1 :技术应用; ~a~O~Q.Q~O~Ø~C~Q.ø~ 激光自动孔径测量仪 上海钟表元件厂 激光自动孔径测量仪，主要由激光干涉、光电显微镜、电子计数器以及自动送料等四个部 分组成。激光干涉系统是将 He-Ne 激光的光波，经干涉系统产生明暗交变的光信号p 由光电 倍增管接收转换成脉冲信号送到电子计数器进行计数。同时由光电显微镜设置一适当狭缝， 当被测宝石的轮廓与显微镜轴线重合时3 则产生一对称脉冲以控制干涉条纹计数门的开、 关。电子计数器是用来计数、比较、公差判别、差值显示以及宝石分选。自动送料是保证被 测宝石连续不断送至固定测量位置的机械装置。 激光自动孔径测量仪主要性能和存在问题z 1. 测量精度土1 微米 2. 测量速度 40 粒/分 3. 连续工作 16 小时 4. 对整圆内外径误差测量合格率98界以上 5. 光路、电路比较稳定 6. 检验自动化程度较高 7. 因只测宝石的任意一条直径，对椭圆和缺角的宝石，容易造成漏网。 8. 因宝石清洗和室内清洁程度，以及自动送料机械和电气干扰等问题，目前倒漏网率还 在 20，， 30界。 下面分别进行介绍。 一、激光干涉系统 光源采用 He-Ne 激光器，发出 6328Å 单色光束，通过5，...， 8 倍望远镜把光束放大至直径 约 6 毫米的平行光，射至镀有6328主膜的分光镜，把光分成两路，一路反射至固定角锥棱镜F 经固寇角锥棱镜，再反回到分光镜。另一路射向动态角锥棱镜p 经动态角锥棱镜反回到分光镜 与固定角锥棱镜反回的光束相交一点，产生干涉场。由于动态角锥棱镜来回移动，光程差友生 变化，引起干涉条纹位移。 设激光束被分光镜分后再合的两光束之间的光程差8 l o=2(l2- 1) 0= 2Lll 设分光后两光束光强各为 1 1 ，合成光束I 和 1 2 ..5-. I=J Ii+I~+2川∞8(2馆去) 合成光光强I 值最大时即干涉明条纹， I 值最小时即干涉暗条纹。 1 动态角锥棱镜移动言人则在干涉场引起飞Zλ 的光程变化(即变化一条条纹)，如果记录 条纹数目就可以测得工件长度。 L=rn卡 这个光路由于分光和会合的位置不同(分光在A 点，会合在 B 点)，光线反馈至激光管中很少， 避免了国光引起的光强变化。 图 1 激光干涉系统光路图 l-H司一Ne 激光器 2一望远镜系统 3一光阑 4一分光镜 5一固定角锥棱镜 6一动态角锥棱镜 7一狭缝 8一光电倍增管 二光电显微镜 在介绍光电显微镜前先介绍一下宝石轴承特点，材料是人造红宝石，成品是半透明的， 内外径边缘都倒过R 角，因此在内外径边缘都有一圈不透明的黑边。以 14x80 宝石为例， 见图 20 RO.03:O.O告 为了精密测定宝石轴承外径、内径、偏心尺 寸，必须在宝石轴承的外径、内径边缘处精确定 半透明 位，给出开关讯号，控制计数门，记录激光干涉 条纹的移动数，这就需要有一个对几何形状进