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100级大面积电子厂房净化空调设计 2006年3月 第25卷第1期(总94期)制冷 文章编号:ISSN1005—9180(2006)O1—0063—04 100级大面积电子厂房净化空调设计 胡世忠 (格林也科技(无锡)有限公司,江苏214028) [摘要]随着微电子技术的发展,相应的高洁净度厂房工程也不断增多.同时对工程的要求也不断提高, 本文介绍了为某着名电脑主板企业设计的大面积100级洁净厂房的有关内容,提供设计参数,并且注重介 绍干冷盘管在高洁净度厂房中的运用,该系统运行近-年,情况正常,符合规范和生产工艺要求. [关键词]洁净度,换气次数,干冷盘管,二次水循环,洁净房测试 [中图分类号]TU831;TU834[文献标识码]B DesignofPurificationAir-—conditioningforlargeCleanlinessClass100ElectronicalWorkshop I-[UShizhong (Greenairetechnology(Wuxi)Co.,hd,Jiangshu214028) Abstract:Withthedevelopmentofmicro—electronics,the0~ojeetofhighcleanlinessworkshopincreasinglygrowsup, thetechnicalrequirementisaccordinglyontherise.Herebyintroducestheconcerningdescriptlonforlargecleanlinessclass 100cleanworkshop,designedforarenownedcomputermainboardcorporation.Furthermore,emphaticallyintroducesDCU functionappliedinhighcleanlinessworkshop,thesystemworksnormallyduringthepastyear,conformingwiththecriteri— onandcraftsrequirement. Keywords:Cleanliness,Airexchangerate,Dcoilunit,Secondarywatercirculation,Cleanioomtest 1概况 本工程位于苏州某工业园内,厂房共有二层, 每层建筑面积约36500m2.洁净厂房分阶段完成, 共分4期完成.本次工程为第二期,100级洁净厂 房约为2680m2,千级面积约为580m2,普通区域 (testarea)面积为5000m2(厂房平面图略). 2设计主要参数 设计主要参数见表1. 3洁净空调系统设计 3.1洁净冷负荷计算 夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷,人员冷负 荷,照明冷负荷,生产设备冷负荷,新风冷负荷, 风管冷损,空调机组风机负荷等.经计算:100级 区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标: 480W/m2.普通区域(testarea)冷负荷指标: 000W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大). 3.2i00级,1000级洁净房的空调方式 洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁 净房空调及气流组织形式见图1. 其中,FHU为新风机组(FreshairhandingU. nit),另外,新风机组对新风采取了初,中,高效 过滤处理.新风机组包括:初效段,表冷段,中效 段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加 湿段(厂家有蒸气),高效段.其中,空气清洗段 厂家先要求预留,以后再增加. 收稿日期:2005—10—21 作者简介:胡世忠(1971一),男,工程师,主要从事中央空调丁:程设计.E—mail:hszong@ No.I,2006,Mar. Vo1.25(TotalNo.94) 袭1设计主要参数 一磷———卜『}{ VCDvco生vcD生vcD一生VcD一生vcD生vcD垒v I0^1.I.^1.^1.^11o^tOA f==堂m.5.}=::-带盘-竹:中.寸郴_.lf.叩哪—n呻啪m中坩擅.L 舒n.n.nf}』.』..rrm1T丌TI1TjTjf啊丁针f亍舒 爨III爨矧t嚣世HER回回DcR【x1UOCLASS1K回ff工作台IIIII 鑫鑫黼器etlmngr∞ [. 盟几…一～… 带f工作台竹更衣间付几 l『珊1r婷1]]姗_『r]一:.哪 图I洁净房气流组织图 新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房 的正压和人员新风需求.该工程新风景取 35000m3/h; DCU为干表冷盘管(Drycoilunit),在每一个 洁净房内的回风夹墙中,都设置了干冷盘管.于冷 盘管的主要作用是对洁净房进行等湿