其它显微分析方式.ppt

第九章 其它显微分析方法简介 化学位移 ： 同种原子所处化学环境不同，使原子芯电子结合能发生变化，从而使电子能谱谱峰位置发生移动，称为化学位移。 某原子所处化学环境不同，有两方面的含义：①与其结合的元素种类和数量不同；②原子具有不同的价态。 第九章 其它显微分析方法简介 (3) 谱图中除了光电子峰外，还显示出俄歇峰、特征能量损失峰。此外，还出现价带谱和等离子激元等伴峰结构。 第九章 其它显微分析方法简介 二、X射线光电子能谱仪 1、 XPS谱仪的构成 XPS谱仪的基本构成： 真空系统 样品输运系统 X射线源 样品室 能量分析系统 检测器 计算机控制系统。等 第九章 其它显微分析方法简介 2、工作原理 ① 样品置于样品架上，由送进系统送入样品室。 ② 用一束单色的X射线激发样品产生一定动能的光电子。 ③ 光电子进入能量分析器，进行光电子的能量色散。 ④ 由能量分析器出来的光电子经倍增器进行信号的放大，进入多道分析器。 ⑤ 以适当的方式显示、记录，得到XPS谱图。 第九章 其它显微分析方法简介 样品及其预处理 样品可以是具有确定表面的固体、块状样品和粉末样品等。 确定表面的固体或块状样品，可以直接夹在样品托上或用寻电胶粘在样品架上，进行测定。 对于粉末样品，可以粘在双面胶带上或压入铟箔(或金属网)内，也可以压成片后再固定在样品架上。 样品的预处理： 常用的预处理有真空加热法和离子溅射法。 真空加热法：通过加热的方式，使耐高温的样品在高或超高真空条件下除去样品表面的吸附物。 离子溅射(又称离子刻蚀)：通过气体(常用Ar气)离子束轰击样品表面，以溅射样品表面的污染物。 第九章 其它显微分析方法简介 X射线源 XPS采用能量为1.0～1.5keV的X射线源，能激发内层电子。 目前应用较普遍的靶是Al和Mg作阳靶材料的双阳极靶。 第九章 其它显微分析方法简介 电子能量分析器 是电子能谱仪的核心，用以精确测定电子结合能。 使不同能量的电子在不同的时间里通过能量分析器到达检测器，从而可以测出每一种能量电子的数量。 检测器一般使用多通道电子倍增器。 第九章 其它显微分析方法简介 3、采谱方式 对未知样品的测量程序为： 首先宽扫描采谱，以确定样品中存在的元素组分(XPS检测量一般为1％原子百分比)； 然后窄扫描采谱，包括所确定元素的各个峰以进行化学态分析或定量分析等。 第九章 其它显微分析方法简介 (1) 宽扫描 扫描范围为0～1100eV或更高，用于识别分析样品中可能含有的元素。 第九章 其它显微分析方法简介 (2) 窄扫描 对某一小段感兴趣的能量区间进行的扫描，用以鉴别化学态、定量分析和峰的解叠。 第九章 其它显微分析方法简介 三、XPS的分析方法 实际样品的光电子谱图是样品所含元素的谱图组合。 第九章 其它显微分析方法简介 1、元素定性分析 定性分析原则上可以鉴定除氢、氦以外的所有元素。 每一种元素均有与之对应的标准光电子能谱图。 第九章 其它显微分析方法简介 待定样品的光电子能谱即实测光电子能谱本质上是其组成元素的标准光电子能谱的组合。 分析原理：根据全扫描获得的X光电子谱图中光电子峰的位置和形状与各元素的标准谱图进行对比来识别元素。 分析方法：由实测光电子能谱结合各组成元素的标准光电子能谱，找出各谱线的归属，确定组成元素，从而对样品进行定性分析。 定性分析时一般利用元素的主峰。 第九章 其它显微分析方法简介 分析的一般步骤： (1) 对样品进行宽扫描，获得样品的实测光电子能谱； (2) 标识那些总是出现的谱线：C1s、CKLL、O1s、OKLL、O2s，以及X射线的各种伴峰等； (3) 由最强峰对应的结合能确定所属元素，同时标出该元素的其他各峰； (4) 同理确定剩余的未标定峰，直至全部完成，个别峰还要对窄扫描进行深入分析。 注：当俄歇线与光电子主峰干扰时，可采用换靶的方式，移开俄歇峰，消除干扰。 第九章 其它显微分析方法简介 2、化学态分析 元素形成不同化合物时，其化学环境不同，根据光电子主峰的位移和峰形变化分析待测元素形成了哪种化合物，即可对元素进行化学态分析。 方法：与现有标准谱图和标样进行对比来进行定性分析。 常用的对比方法有化学位移法，这种方法主要是根据化学位移来确定元素的化学态。有时，也可考虑峰形因素。 第九章 其它显微分析方法简介 3、 定量分析 一般来说，光电子峰强度(峰面积或峰高) 与样品表面所测元素的含量(或相对浓度)成正比。 由光电子峰强度确定元素浓度的定量分析方法：理论模型法、灵敏度因子法、标样法等。 4、 深度分析 深度分析：获得深度—成分分布曲线或深度方向元素的化学态的变化情况。 第九章 其它显微分析