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27 3 电 子 显 微 学 报 Vol-27, No.3
2008 6 Journal of Chinese Electron Microscopy Society 2008-06
:1000-6281(2008)03-0243-07
、
于华杰, 崔益民, 王荣明＊
(北京航空航天大学理学院, 北京 100083)
:聚焦离子束纳米加工 统, 具有传统加工工具无可比拟的优势而逐渐成为新 一代微纳分析、加工的工具,
在微纳米加工、操纵以及器件的研制等方面具有重要应用。 本文介绍了聚焦离子束 统的内部结构和工作原理,
探讨了该 统的扩展功能、应用及发展前景。
:聚焦离子束;微纳加工;双束纳米工作站
:TH73;TH74;O59 :A
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(10-5 Pa ～ 10-6 Pa)。
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:2007-11-26;:2008-02-18
:(No.2005JG100050).
:(1980-), (), , .
＊:(1969-), (), , , .E-mail:rmwang@buaa.e u.cn.
J.Chin.Electr.Microsc.Soc. 27
244
, ,
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