压力传感器变送器.pptxVIP

第一章 传感器;第二章 传感器特性 ;传感器静态特性的主要技术指标有：非线性、灵敏度、重复性、迟滞、分辨率、漂移、稳定性等。 ;第三章 压力传感器的介绍;压力传感器按物理介质分类：扩散硅压力传感器、溅射膜、应变片、陶瓷、电容式，蓝宝石 按压力类型分类： 大气压力:指地球表面上的空气柱重量所产生的压力，以P0表示。 表压G（Gauge pressure）：指作用于物体表面积上的全部压力，其零点以当地大气压为参考点。当绝对压力小于当地大气压力，则表压力为负压，负压又可用真空度表示，负压的绝对值称为真空度。如测炉膛和烟道气的压力均是负压。 密封表压S：密封表压是在传感器内部封有一个标准大气压时的压力值。;绝对压力A（Absolut pressure）:指作用于物体表面积上的全部压力，其零点以绝对真空为基准，又称总压力或全压力，一般用大写符号P表示。 差压D（Differential pressure）：任意两个压力之差称为差压。如静压式液位计和差压式流量计就是利用测量差压的大小来知道液位和流体量的大小的。测量压力的传感器类型很多，如应变式，电容式，差动变压器，霍尔，压电传感器等都能用来测量压力。;几种常用的压力传感器的介绍 目前应用较为广泛的压力传感器主要有扩散硅压阻式压力传感器、陶瓷压阻压力传感器、溅射薄膜压力传感器及耐高温特性的蓝宝石压力传感器 。 ;扩散硅、压阻式压力传感器的工作原理 压阻效应：半导体材料的压阻效应具有各向异性，各个晶向晶面的应变系数不同。通过半导体工艺在半导体材料上制作出一个惠斯通电桥，在受到外力以后扩散在半导体上的电阻值会发生变化。 以单晶硅为基体，按照特定晶面加工成弹性应变元件（根据不同的受力形式设计成膜、杯、柱、梁等几何形状）,然后按一定晶向采用集成电路工艺在弹性应变体上制作4个等值电阻，组成惠斯通电桥。其中一组对称端输入直流工作电压，当弹性应变体感受被测力后，产生相应的应变，由于压阻效应，使桥臂电阻发生变化，电桥失去平衡，从另一组对称端输出对应也被测力的电信号。 ;扩散硅压力传感器的注意事项： 严禁压力过载。 被测压力有瞬???出现较大过载压力。 液体测量中的水泵扬程较大造成液体高速运动冲击测压传感器膜片，过大的动量冲击附加压力造成的大的过载。 活塞式压力计校验时，活塞或砝码卡住未觉察，加压时高过载冲击传感器。 严禁敲打，振动、撞击、跌落、避免过大的加速度力造成损坏，尤其时低压传感器和隔离膜型传感器。 ;压阻式压力传感器体积位移小，因此无论是硅膜片，还是金属波纹膜片隔离式敏感元件，严禁用手指头，镊子、螺丝刀、铁丝等尖而硬的物体接触传感器膜片试压，这样会造成无法修复性损坏。 扩散硅压力传感器的图片;陶瓷压阻式压力传感器 陶瓷压阻式压力传感器：陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击合振动的材料。高特性、低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势，在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器代替扩散硅压力传感器。 抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，连接成一个惠斯通电桥（闭桥），由于厚膜电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号，通过激光标定，传感器具有很高的温度稳定性合时间稳定性，传感器自带温度补偿0～70℃，并可以和绝大多数介质直接接触。 ;溅射薄膜压力传感器 溅射薄膜压力传感器是利用电阻应变效应工作的，与传统应变式压力传感器属于同一原理。其主要是制作工艺上的差别。溅射薄膜压力传感器延用了测量压力的金属弹性膜片原理，应用离子束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直接制作再金属测压膜上，由于没有活动部件，抗震动和抗冲击能力很强，也可用于恶劣的环境。 在国内也有一部分厂家在做此方面的工作，但到目前没有商业化。由于工艺水平的限制，国外的产品在稳定性方面还存在一些问题。 ;蓝宝石压力传感器 蓝宝石压阻式压力传感器以机械性能高度稳定的人造蓝宝石为承压材料。其主要特点是长期稳定性好，温度范围宽（允许介质温度－196～400℃），抗震动。主要用于介质温度特别低或特别高的场合及航天、航空和军事用途。 ;第三章 压力传感器的主要技术指标 ;零位输出：无载荷时，传感器在额定电流下的输出电压。被试传感器在三次加压循环中，在零压力时输出值的平均值为零位输出。 满量程输出：额定电流下，传感器在满量程压力下的净输出电压。被试传感器在三次加压循环中，在测量上限输出值与测量下限输出值之差的绝对值的平均值为传感器的满量程输出。 过载：指压力传感器所能承受的最大安全压力，超过该压力时，传感器将会被损坏。 灵敏度：传感器在单位压力时的输出电压 G＝U