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第八章 透射电子显微镜§8-1 透射电子显微镜的结构与成像原理§8-2 主要部件的结构与工作原理§8-3 透射电子显微镜分辨本领和放大倍数测定本章重点：1 TEM与光学透镜的异同。2 电子光学系统的构造及各部分的功能。3 如何实现成像操作和衍射操作?4 TEM中主要光阑的位置和作用。5 成像系统中各透镜的功能。§8-1 透射电子显微镜的结构与成像原理 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜来聚焦成像，因此有很高的放大倍数（106倍），高分辨率（0.1nm）。照明系统成像系统观察与记录系统电子光学系统（核心）电源与控制系统真空系统透射电镜（TEM）TEM的结构：一 概述TEM的光路成像原理 电子枪发射电子束 经聚光镜聚焦 照明样品 电子束穿过样品 在物镜的背焦面上形成衍射花样 在物镜的像平面上形成形貌图像 图像被中间镜和投射镜逐步放大 在荧光屏或感光底片上成像 经物镜放大成像图 透射显微镜构造原理和光路b) 透射光学显微镜a) 透射电子显微镜镜筒内为什么保持高真空状态：⑴ 防止高速电子受空气分子碰撞而改变运动轨迹；⑵ 避免因空气分子电离而引起放电而破坏了电子枪 电极间的绝缘；⑶避免阴极氧化及样品污染。 3 为什么使用电磁透镜？ 使用静电透镜（用电场聚焦）需要高压，给设备的设计和操作带来不便。 故现代电镜中静电透镜只在电子枪中使用；而聚光镜、物镜、中间镜和投影镜则都采用电磁透镜（用磁场聚焦），可以通过改变激磁电流来调节透镜的聚焦能力。4 TEM和光学透射显微镜的异同相同点： （1）光学成像原理相同； （2）都能用于形貌分析。不同点： （1）光源不同； （2）聚焦透镜不同； （3）TEM中有中间镜； （4）成像屏幕不同； （5） TEM镜筒中要保持高真空；（6）放大倍数及分辨率不同；（7）用途不同；（8）景深焦长不同。二. 电子光学系统的结构 ㈠ 照明系统 作用：提供一束高亮度、孔径角小、平行度好、束流稳定、可平移倾斜的电子束。 电子枪 提供电子束 构成：聚光镜 汇聚电子束、调节束斑 调节装置（偏转器） 调节电子束 的照明角度及位置1. 电子枪 作用：提供电子束，最常用的是热阴极电子 枪。构成： 钨丝阴极：发射电子 栅极 ：稳定电子流 使电子汇聚成束（50μm电子源） 阳极 ：加速电子 图 电子枪 (a)自偏压回路 (b)电子枪内的等电位面聚光镜 作用： a 把来自电子枪的发散的电子束（ 50μm ）聚成细束（ 2~10μm ）； b 配合使用聚光镜光阑，可以调节照明强度、孔径角。 第一聚光镜——缩小束斑（1~5μm ）； 第二聚光镜——放大束斑（ 2~10μm ）， 可得到几乎平行的照明电子束。构成：图 照明系统光路㈡　成像系统 成像系统主要由物镜、中间镜和投影镜构成，其作用是成像，电磁透镜和光学透镜作用相似，成像公式也相同。物镜 a. 作用：⑴ 用来形成第一幅高分辨率电子显 微图像或电子衍射花样； ⑵透射电镜分辨本领的高低，主要取 决于物镜。 b.物镜的特点： ⑴ 是强激磁短焦距的透镜（f=1~3mm）； ⑵ 放大倍数较高，一般在100~300倍； ⑶ 最高分辨率可达0.1nm左右。物镜的背焦面上有物镜光阑。其作用： 减小球差、像散、色差； 进行暗场及衍衬成像。2. 中间镜 a．作用：放大或缩小来自物镜的电子像，并且调 节中间镜的位置，可以进行成像操作和 电子衍射操作。 如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像——成像操作。 如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样——电子衍射操作。(图）图9-7 透射电镜成像系统的两种基本操作(a)将衍射谱投影到荧光屏 (b)将显微像投影到荧光屏 b. 中间镜特点 ⑴ 弱激磁长焦距； ⑵ 可变倍，可在0~20倍调节（其放大倍数大于 1，放大物镜像；放大倍数小于1时，缩小物镜像）。（ 总放大倍数为物镜、中间镜、投影镜三级放 大倍数的乘积）3.投影镜 ⑴ 作用：把中间镜放大或缩小的像（电子衍射花样）进一步放大并投影到荧光屏； ⑵ 特点：a强激磁短焦距； b孔径角很小，因此景深和焦长都非 常大。㈢观察记录系统构成：荧光屏和照相机构。作用：当反映样品微观特征的电子强度信号， 由成像系统投射到荧光屏后，被转换成 与电子强度成比例的可见光图像，还可 利用照 相机构进行照相。 荧光屏有较高的分辨率，因此可用光学放大镜进一步放大。二.成像方式TEM有两种基本成像模式： 衍射成像——晶体结构同位分析 显微成像——微观组织形貌观察1. 显微成像 ⑴高放大倍数成像：中间镜放大物镜像，投影 镜又以中间镜像为物，成像于荧光屏，结果可 以获得几万