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Surface Analysis Lab. of SCUT 电子能谱分析华南理工大学分析测试中心 参考书目 1. 《表面分析技术》,清华大学. 陆家和,陈长彦 2. 《表面分析》,复旦大学,华中一,罗维昂 3. 《电子能谱学引论》,王建祺,国防工业出版社 4. 《电子能谱学》,周涛 5. 《表面化学分析》,黄惠忠 ,华东理工大学出版社 6. 《表面分析(XPS和AES)引论》,(英) (Watts,J.F Wolstenholme,J.) 著, 吴正龙 译,华东理工大学出版社 荷叶表面的自清洁 材料组成 材料结构 材料性能 材料表面性能 课程内容 第一章、绪论 1. 电子能谱学研究体系 2. 电子能谱学发展简史 3. 表面及微束分析方法 第二章、电子束及X射线与固体表面相互作用 1. 电子的双重特性 2. 原子核外电子结构 3. 电子跃迁规律 4. 电子束与固体的相互作用 5. 电子束与固体相互作用信息 6. X射线特性 7. X射线与固体的相互作用 第三章、俄歇电子能谱分析原理及应用 1.电子能谱分析法 2.俄歇电子跃迁 3.俄歇电子能谱分析方法 4.俄歇电子能谱仪结构 5.俄歇电子能谱仪的应用 第四章、光电子能谱分析原理及应用 1.光电子能谱分析法 2.光电效应理论 3.光电子能谱定性定量分析方法 4. 光电子能谱仪结构 5.光电子能谱仪的应用(包括样品制备、数据分析等) 第一章 绪 论 电子能谱学研究体系 电子能谱学发展简史 表面及微束分析方法 电子能谱学研究体系 电子能谱属于仪器分析的范畴 所谓仪器分析是以物理和化学领域的某些原理和效应为基础,在利用各科学技术的新成就的基础上而建立起来的分析实验装置,其测试的对象不是样品的宏观参数,如重量、体积、密度、溶解度等,而是光子、电子、离子、原子和分子等的特征参数,如光子的波长、电子的能量、离子质量、样品对光的吸收、衍射等为主要参数来表征物质的组成、含量、结构和形貌等。 电子能谱(Electron Energy Spectrometer)是采用一定的激发源(电子束或X射线等)与样品作用,激发样品表面元素产生各种二次信息,测试出射电子(俄歇电子、光电子)的能量来进行样品表面元素成分、化学状态等的分析。 电子能谱分析的是样品表面的元素成份及化学状态及结构信息,这些信息往往是来自样品表面(几个原子层)及微区范围,微区范围大小(几个纳米至几个微米)由入射激发源的束斑大小和样品表面状态及测试信息而决定。这一点使电子能谱分析有别于其他体相分析方法,如NMR、AAS、ICP、MS、LC、GC等,这些分析方法分析的是样品整体的元素、化合物、结构等信息,得到的是有关样品体相的整体或平均信息。 电子能谱的表面及微区分析能力使我们能更加准确地对样品的局部信息进行分析。 物体与周围环境(气体、液体、固体或真空)的边界,即为表面,表面是物质存在的一种形式,所有固体材料通过它们的表面与其所处的环境发生相互作用。 固体表面的物理和化学组成、原子排列、原子振动等运动状态常常和体内不同,表面向外一侧没有近邻原子,表面原子部分化学键伸向空间形成悬空键,表面具有非常活泼的化学性质。材料表面性能往往是决定材料使用性能的重要因素。 固体表面有时指表面的第一原子层,有时指上面几个原子层,有时指厚度达几个nm或um的表面层。 电子能谱分析的表面范围 当具有足够能量的辐射(hv)或粒子与样品碰撞时,原则上均能引起电离或电子激发,但是,只有表面层具有一定能量和动量的电子,才能逃逸出样品,进入真空而被接收。依据物理学种的弹性散射和非弹性散射原理,有关系式: 电子非弹性散射平均自由程 IMFP(λ) — 非弹性平均自由程,具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位) ,称为电子的非弹性平均自由程,在表面分析中是一个重要参数,它与电子能量和表面材料有关,它可用来估计具有不同特征能量的电子所携带的信息深度。 电子能谱取样深度 对于能量在100~1000eV的电子来说,非弹性散射平均自由程的典型值在2~3nm的量级,此一距离对大多数材料而言约为10个原子单层。 根据取样深度Z=3λ,其电子能谱分析样品表面深度为: 金属:0.5-2nm 无机物:1-3nm
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