《工程光学》13-7-二元光学元件.pdf

第七节 二元光学元件 (Binary Optical Element ，BOEs ) 一、概念 基于光波的衍射理论，运用计算机辅助设计， 并运用超大规模集成电路制作工艺，在片基上刻蚀 产生两个或多个台阶深度的浮雕结构，形成纯相位、 同轴再现、具有极高衍射效率的一类衍射光学元件。 随之形成的一门新的学科分支，称二元光学 。 1 © 2006, ZTE Corporation. All rights reserved. 二元光学( Binary Optics )是衍射 光学、微光学的主要分支学科，是光 学与微电子、微计算机相互融合、渗 透而形成的前沿交叉学科。是研究微 米、亚微米级特征尺寸光学元件的设 计、微细加工技术及利用该元件以实 现光束的发射、聚焦、传输、成象、 分光、图象处理、光计算等一系列功 能的理论和技术。 2 © 2006, ZTE Corporation. All rights reserved. 二、二元光学元件的结构 闪耀光栅 γ 光栅周期d，闪耀角γ x d 相位轮廓化 多阶相位轮廓光栅 γ Δh 光栅常数d/N，阶梯深度Δh x d d sinγ n ∆h , N 2 N 3 © 2006, ZTE Corporation. All rights reserved. 折射透镜到二元菲涅尔透镜的演变过程 4 © 2006, ZTE Corporation. All rights reserved. 三、二元光栅夫朗和费衍射强度分布及特点 由图得以下关系： A O B N n h d sinγ d d 2 , ∆ ,