第四章光电仪器中定位与校准.pptVIP

第四章 光电仪器中的定位与校准;概述;定位;缺点：精度比较低，一般只能达到10μm级精度，如测量显微镜，故只适用低精度的仪器中。;优点：定位精度高(可达到亚微米甚至纳微米级精度)；抗外界干扰和内部参数变化能力强；同时易实现自动化。 缺点：系统较复杂；调整、使用和维修较困难；成本较高。 ; 在光电仪器中所使用的光栅可看作是刻线间距很小的标尺和度盘。;计量光栅;莫尔条纹的构成原理 当两块黑白透射光栅的刻线面相叠合，并使两者的栅线有很小的交角时，两光栅的栅线彼此重合，光线通过光栅后形成亮带和暗带。这种明暗相间的条纹称为光栅的莫尔条纹。 ; 长光栅是以栅距c为增量的编码尺，圆光栅是以栅距角? 为增量的编码盘。长光栅与圆光栅的编码方程式可分别表示为;或;同理，可以写出圆光栅的测量方程式为 ;要得到横向莫尔条纹，需满足： 两光栅的栅距相等。 交角? 很小，? ? 0。; 由于光栅与莫尔条纹的运动关系是严格对应的，因此可以通过测量莫尔条纹的数目和运动方向，来判别光栅的移动距离和方向，实现可逆计数的目的。;例如：当? =10?时，k = 1/? = 1/0.29 = 345 。 ? 莫尔条纹具有对光栅位移的放大作用。它比一般的光学和机械方法易于实现大倍率的放大。所以莫尔条纹被广泛地用来实现高灵敏度的位移测量。 ? 莫尔条纹的