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第3.3节 电感式传感器 机电工程系 刘彦彦 1、测量原理：即利用电磁感应原理将被测非电量变化转换成线圈自感L或自感M的变化，再由测量电路转换为电压或电流的变化量输出。 2、测量范围：位移、压力、流量、振动等 3、种类：分为自感式（变磁阻式）、变压器式、涡流式等 4、特点： 工作可靠、寿命长 灵敏度高，分辨力高 精度高、线性好 性能稳定、重复性好 灵敏度、线性度相互制约 缺点： 把被测量转换为线圈自感L的变化。 把被测量转换为线圈互感M的变化。传感器本身是一个变压器。 把被测量转换为线圈的阻抗变化。 3.3.1 自感式传感器 一、自感式传感器的工作原理 二、灵敏度与非线性 三、零点残余电压 四、自感式传感器的应用 自感式传感器的工作原理 F 220V 准备工作 电感传感器的基本工作原理演示 自感式传感器的工作原理 气隙变小，电感变大，电流变小 F 一、 自感式传感器的工作原理 自感式传感器由线圈、铁芯和衔铁三部分组成。铁芯和衔铁由导磁材料（硅钢片或坡莫合金）制成。 图3-1自感式传感器原理结构图 在铁芯和衔铁之间有气隙，传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时，气隙厚度δ发生改变，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感值变化，因此只要能测出这种电感量的变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。 与传感器相连 工作原理分析 气隙很小，可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为 自感式传感器原理结构图 （3-3） 通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即 （3-4） 则式（3-3）可写为 （3-5） 联立式（3-1）、 式（3-2）及式（3-5）， 可得 （3-6） 上式表明：当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变δ或A0均可导致电感变化，因此变磁阻式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器和变气隙面积A0的传感器。 目前使用最广泛的是变气隙厚度式电感传感器。  二、灵敏度与非线性 L与δ之间是非线性关系，特性曲线如图3-2所示。 图3-2 自感式电压传感器的L-δ特性 分析： 当衔铁处于初始位置时，初始电感量为 （3-7） 当衔铁上移Δδ时，传感器气隙减小Δδ，即δ=δ0－Δδ， 则此时输出电感为 （3-8） 气隙型传感器灵敏度分析 当Δδ/δ01时（泰勒级数）： （3-9） 可求得电感增量ΔL和相对增量ΔL/L0的表达式，即 (3-10) (3-11) 同理，当衔铁随被测体的初始位置向下移动Δδ时，有 （3-12） （3-13） 对式（3-11）、（3-13）作线性处理，即忽略高次项后，可得 （3-14） 灵敏度定义为单位气隙厚度变化引起的电感量 的变化。 可见：气隙型电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，因此气隙型电感式传感器适用于测量微小位移的场合。 （3-15） 线性处理后得出的近似结果 由△δ表示 与 衔铁上移 切线斜率变大 衔铁下移 切线斜率变小 与线性度 衔铁上移： 衔铁下移： 无论上移或下移，非线性都将增大。 差动变隙式电感传感器 　　为了减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动变隙式电感传感器。 差动变隙式电感传感器 1-铁芯； 2-线圈； 3-衔铁 衔铁上移Δδ：两个线圈的电感变化量ΔL1、ΔL2分别由式（3-10）及式（3-12）表示， 差动传感器电感的总变化量ΔL=ΔL1+ΔL2, 具体表达式为 对上式进行线性处理, 即忽略高次项得 一边气隙增大，一边减小 灵敏度K0为 比较单线圈式和差动式：  ① 差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的两倍。 ② 差动式的非线性项(忽略高次项)： 单线圈的非线性项（忽略高次项)： 由于Δδ/δ01，因此，差动式的线性度得到明显改善。 在实际应用中大量采用差动自感传感器。 四、零点残余电压△U0 当差动自感传感器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压值(从零点几mV到数十mV)存在，称为零点残余电压。 产生的原因：① 两电感线圈的等效参数（电感、电阻）不对称； ② 铁芯磁路存在非线性，产生高次谐波不同， 不能互相抵消。 零残电压过大带来的影响： 灵敏度下降、非线性误差增大 测量有用的信号被淹没，不再反映被测量变化造成放大电路后级饱和，仪器不能正常工作。 五、 自感式传感器的应用 五、 自感式传感器的应用 该圆度计采用旁向式电感测微头