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半导体材料—硅 摘要 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料，是半导体工业的基 础。利用半导体材料制作的各种各样的半导体器件和集成电路，促进了现代信 息社会的飞速发展。本文就半导体硅材料作了简单介绍。 引言 能源、信息、材料是人类社会的三大支柱。半导体硅材料则是电子信息产 业(尤其是集成电路产业)和新能源、绿色能源硅光伏产业的主体功能材料，硅 材料的使用量至今仍然占全球半导体材料的 95％以上，是第一大电子功能材料， 且早已是一种战略性的物资和产业。[1]20 世纪中叶，单晶硅和半导体晶体管 的发明及其硅集成电路的研制成功，导致了电子工业革命，随着科技的发展， 半导体材料越来越多。[2]半导体材料是一类具有半导体性能、可用于制作半导 体器件和集成电路的电子材料．硅材料是当今产量最大、应用最广的半导体材 料，是集成电路产业和光伏产业的基础。硅材料的发展对推动我国相关产业实 现技术跨越、增强国际竞争力、保持社会经济可持续发展和保障国家安全均起 着重要作用。[3] 1、硅的分类 硅也是极为常见的一种 元 素，属于 元 素 周 期 表上第三周期，IVA 族的 类 金 属 元 素。然而它极少以 单 质的形式在 自 然 界出现，而是以复杂的 硅 酸 盐或 二 氧 化 硅的形式，广泛存在于 岩 石、 砂 砾、 尘 土之中。硅在 宇 宙中的 储 量排在第八位。 在 地 壳中，它是第二丰富的元素，构成地壳 总 质 量的 26.4%，仅次于第一位的 氧。硅根据物理性质分为无定形硅和晶体硅两种。 1.1 无定型硅 无定型硅又称非晶硅，非晶硅是一种直接能带半导体，它的结构内部有许多 所谓的“悬键”，也就是没有和周围的硅原子成键的电子，这些电子在电场作 用下就可以产生电流，并不需要声子的帮助，因而非晶硅可以做得很薄，还有 制作成本低的优点。在 70 年代确实有过制备非晶硅的沸沸扬扬的高潮。事实上， 非晶硅光电池已经广为使用，例如许多太阳能计算器、太阳能手表、园林路灯 和汽车太阳能顶罩等就是用非晶硅作为光电池的基本材料的。非晶硅在太阳辐 射峰附近的光吸收系数比晶体硅大一个数量级。禁带宽度 1.7～1.8eV，而迁移 率和少子寿命远比晶体硅低。现已工业应用，主要用于提炼纯硅，制造太阳电 池、薄膜晶体管、复印鼓、光电传感器等。 制造非晶硅的方法有多种，最常见的是辉光放电法和等离子增强化学气相沉 积法(PECVD)[12]。此外还有反应溅射法、电子束蒸发法和热分解硅烷法等等。 非晶硅产业化是利用化学气相沉积法制造的，硅烷气体流入真空反应器，利用 高频放电等方法分解硅烷，使非晶硅沉积在基板上。硅烷中混入含有 P 或 B 的 PH，、B：H6 气体，町得到 N 型或 P 型非晶硅。[6] 1.2 晶体硅 1.2.1 单晶硅 高纯的单晶硅是重要的半导体材料。在单晶硅中掺入微量的第 IIIA 族元素， 形成 p 型硅半导体；掺入微量的第 VA 族元素，形成 n 型半导体。p 型半导体和 n 型半导体结合在一起形成 p-n 结，就可做成太阳能电池，将辐射能转变为电 能。在开发能源方面是一种很有前途的材料。另外广泛应用的二极管、三极管、 晶闸管、场效应管和各种集成电路（包括人们计算机内的芯片和 CPU）都是用 硅做的原材料。近年来，各种晶体材料特别是以单晶硅为代表的高科技附加值 材料及其相关高技术产业的发展，成为当代信息技术产业的支柱，并使信息产 业成为全球经济发展中增长最快的先导产业．单晶硅作为一种极具潜能、亟待 开发利用的高科技资源，正引起越来越多的关注．当今世界超过 2 000 亿美元 的电子通信半导体市场中，95％以上的半导体器件和 99％以上的集成电路应用 单晶硅。[3]近几年，我国半导体产业及光伏产业的发展给国内硅材料产业带来 了前所未有的机遇，单晶硅产量明显稳步增长．单晶硅品种有区熔单晶硅和直 拉单晶硅。[8]世界上直拉硅单晶和区熔硅单晶的用量约为 9：1，直拉硅主要 用于集成电路和晶体管，其中用于集成电路的直拉硅单晶由于其有明确的规格， 且其技术要求严格，成为单独一类称集成电路用硅单晶。区熔硅主要用于制作 电力电子元件，纯度极高的区熔硅还用于射线探测器。硅单晶多年来一直围绕 着纯度、物理性质的均匀性、结构完整性及降低成本这些问题而进行研究与开 发。 1.2.2 多晶硅 多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子 以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则 这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。 多晶硅是由冶金级硅(硅含量为 95％～99％)经一系列化学物理提纯而得到的 半导体材料。根据其纯度的不同，大体可分为电子