【课件】2016-05-03-MEMS第一讲-张海霞.pdfVIP

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2020-03-23 发布于北京
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【课件】2016-05-03-MEMS第一讲-张海霞.pdf

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微纳集成系统实验班，2016年春季学期微机电系统 MEMS基础张海霞(Alice) hxzhang@ 2016年5月3 日 Peking University 主要内容 Peking University 一、MEMS的概念与历史二、MEMS的关键技术三、MEMS器件与应用四、总结微纳集成系统实验班，2016年春季学期 MEMS系统的定义 Peking University 感测量信息存储控制量物理量微微运动化学量传信号处理执能量生物量感行信息其他器通信/接口器其他（光/ 电/磁）集成电路微纳集成系统实验班，2016年春季学期 Peking University 大脑-信息处理集成电路腿脚-功能执行微型执行器触角-信息获取微机电系统微型传感器微纳集成系统实验班，2016年春季学期 “There’s Plenty of Room at the Bottom” Peking University Richard Feynman，1959 1965年诺贝尔物理奖得主，一个独辟蹊径的思考者，超乎寻常的教师，尽善尽美的演员。他们需要科学，他们努力地学习科学，但他们却不了解：科学不是教义，而是一次次的 “与大自然相遇的美妙经验”…… “教学和学生使我的生命得以延续。如果有人给我创微纳集成系统实验班，2016年春季学期造一个很好的环境，但是我不能教学的话，那我永远不会接受。永远不会。” MEMS的历史 Si as a mechanical material (Petersen)