- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
Integrated Magnetic MEMS Energy Harvester MD Han, JMEMS, 2013 DOI: 10.1109/JMEMS.2013.2267773 ZL Li, Transducers2013 微型电磁式能量采集器 ZL Li, XM Sun, JMM, Vol23 No8, 23 085013 Micro magnetic Arrays and RF Telemetry Power Transmission 无线能量传输 Triboelectric Mechanism 摩擦发电原理 ?首次实现纳米发电 机直供商用电子器件 ?首次实现纳米发电机 驱动生物医学微系统 (神经假体电极阵列) ?首次提出并实现倍频 纳米发电机 ?高输出高性能 465V,53.4mW/cm3 XS Zhang, et al, Nano Letters, 2013, vol. 13, pp.1168-1172 High-Output Triboelectric Nanogenerator 纳米摩擦发电机 B Meng, Energy Environmental Science, DOI:10.1039/C3EE42311E, 2013 A transparent single-friction-surface triboelectric generator (STEG) 单表面透明的纳米摩擦发电机 Nano Energy 植入式纳米发电机 能量贴 发电膜 发电地板 IoT Nodes Portable Electronics E-Housing 纳米摩擦发电机的应用 电磁 压电 静电 微能源 引出问题 * 现实生活中能量浪费----数据展示 引出我们在做什么----从生活和自然环境中采集电能 * * 添加对比图表---没有功能材料 * 产品路线图 * KOH 溶液,20%, 80度 MEMS系统的定义 信号处理 通信/接口 (光/电/磁) 微传感器 微执行器 感测量 控制量 信息存储 物理量 化学量 生物量 其他 运动 能量 信息 其他 集成电路 “There’s Plenty of Room at the Bottom” 辉煌的起点:1959 Richard Feynman, 1918年5月11日-1988年2月15日)美国著名的物理学家。1965年诺贝尔物理奖得主。一个独辟蹊径的思考者,超乎寻常的教师,尽善尽美的演员。 “教学和学生使我的生命得以延续。如果有人给我创造一个很好的环境,但是我不能教学的话,那我永远不会接受。永远不会。” 他们需要科学,他们努力地学习科学,但他们却不了解:科学不是教义,而是一次次的“与大自然相遇的美妙经验”。 MEMS的历史 1950 1960 1970 1980 1990 2,000 HNA Anodic Bonding EDP Pressure Sensor (Honeywell) KOH Si Pressure Sensor (Motorola) Si as a mechanical material (Petersen) Thermo-pneumatic valve (Redwood) SFB SFB Pressure Sensor (NovaSensor) TMAH DRIE !! XeF2/BrF3 Metal sacrificial process (US Patent) RGT (Nathanson et al) Metal Light Valve (RCA) PolySi beams (Howe, Muller) PolySi Micromotor (Tai, Fan Muller) IR imager (Honeywell) PolySi Comb Drive (Tang, Howe) ADXL Accelerometer DMD (TI) Si Gyro (Draper) LIGA BJT Transistor IC RF MEMS Optical MEMS Bio MEMS 1987 Berkeley: Micromotor 1987 MEMS becomes the name in U.S. 1987 Analog Devices begins accelerometer project First MEMS Conference, IEEE MEMS First Eurosensors conference, Europe Stephen Senturia (MIT) MEMS的代名词 Richard Muller (UC Berkeley) Masyoshi
您可能关注的文档
- 【课件】12节肢动物门.ppt
- 【课件】12-贪心算法(Greedy Algorithm)-.pdf
- 【课件】13棘皮动物门-半索动物门.ppt
- 【课件】13-深度优先DFS+广度优先BFS.pdf
- 【课件】14脊索动物门的一般特征-尾索动物亚门-头索动物亚门.ppt
- 【课件】15-二分查找.pdf
- 【课件】15无颌脊椎动物和鱼类.ppt
- 【课件】24循环系统.ppt
- 【课件】25排泄系统.ppt
- 【课件】26生殖系统.ppt
- 2025至2030中国移动治疗台行业发展研究与产业战略规划分析评估报告.docx
- 2025至2030链激酶行业细分市场及应用领域与趋势展望研究报告.docx
- 2025至2030爆炸物探测扫描仪行业市场占有率及有效策略与实施路径评估报告.docx
- 2025至2030四川省智能制造行业细分市场及应用领域与趋势展望研究报告.docx
- 2026届高三二轮复习试题政治大单元突破练1生产资料所有制与分配制度含解析.docx
- 2026届高三二轮复习试题政治大单元突破练16哲学基本思想与辩证唯物论含解析.docx
- 2026届高三二轮复习试题政治大单元突破练2社会主义市场经济体制含解析.docx
- 浙江省衢州市五校联盟2025-2026学年高二上学期期中联考技术试题-高中信息技术含解析.docx
- 浙江省金丽衢十二校2026届高三上学期11月联考政治试题含解析.docx
- 2026届高三二轮复习试题政治大单元突破练7领导力量:中国共产党的领导含解析.docx
最近下载
- 浙江农村信用社招聘-2025台州温岭农商银行寒假实习生招聘招聘笔试备考试题及答案解析.docx VIP
- 基于AT89C51的智能加湿器的设计与仿真.docx VIP
- 绿化养护项目方案投标文件(技术标).doc
- 简明国际神经精神障碍访谈检查(MINI)中文版.pdf VIP
- 英语不规则动词变化规律 .pdf VIP
- 浙江农村信用社招聘-2025台州温岭农商银行寒假实习生招聘招聘笔试备考题库及答案解析.docx VIP
- 苏霍姆林斯基《给教师的一百条建议》(98~100).pdf VIP
- 小沈阳宋晓峰杨树林小品《江北四大才子》招亲剧本台词完整版.doc
- 银行业务宣传品(玻璃杯、保温杯、茶水分离杯)采购项目投标方案.docx
- 四川省巴中市2024-2025学年九年级上学期期末化学试题(含答案).pdf VIP
原创力文档


文档评论(0)