【课件】2016-05-19-MEMS第三讲-张海霞.pptxVIP

张海霞(Alice) hxzhang@pku.edu.cn 2016年5月19日;MEMS微型加速度计的回顾 MEMS微型驱动器的原理 MEMS数字微镜阵列DMD;;MEMS加速度计的类型;加速度;从加速度计到运动传感器;MEMS系统;主要内容;静电：electrostatic 压电：piezoelectric 热：thermal 磁：magnetic 形状记忆合金：shape memory alloy 气动： pneumatic/hydraulic 生化：biological chemical;Electrical Domain;平行板电容;梳齿结构;弧状梳齿;MEMS压电驱动;固体或者流体的热胀冷缩原理;MEMS热驱动;双层金属;Editor’s Choice, Science 312, 1719, 2006;John Rogers, UIUC;20;形状记忆合??SMA: shape memory alloy ;优点：Strong Actuation, Lower Drive Voltage缺点：Difficult fabrication for magnetic part;微泵Micro Pump 微阀Micro Valve;Biological chemical;Polymer or Functioned Materials;MEMS执行器的市场份额;MEMS微型加速度计的回顾 MEMS微型驱动器的原理 MEMS数字微镜阵列DMD;DLP历程;DLP由光源、颜色滤波系统、冷却系统及数字微镜阵列DMD组成，封装有玻璃窗口密封和保护镜片，其中DMD的每个微镜对应一个像素点，因此DLP系统的分辨率取决于DMD的微镜数目。;数字成像原理：入射光射到三个镜片象素上，两边的镜片设置为“开”状态，反射光线通过投影镜头然后投射在屏幕上，产生方形白色象素图形；中央镜片倾斜至“关”状态，将入射光反射偏离开投影镜头而射入光吸收器，导致在那个特别的象素上没有光反射上去，形成一个方形、黑色象素图。;Digital Micromirror Device 数字微镜阵列;放在DMD微镜矩阵上的蚂蚁腿;通过对每一个镜片下的存储单元以二进制平面信号进行电子化寻址，进行精确的数字控制，信息的每一个象素按照1:1的比例被直接映射在它自己的镜片上，DMD 的每个镜片被以静电方式倾斜为开或关态。如果信号是640×480象素，器件上640×480镜片采取相应动作。;DLP工作过程;一般来说，色轮是由红、绿、蓝、白等分色滤光片的组合，可将透过的白光进行分色，并通过高速马达使其转动，然后顺序分出不同单色光于指定的光路上，最后经由其它光机元件合成并投射出全彩影像。 ;由红 R 、绿 G 、蓝 B 、白 W 四段色组成，加白段色的目的主要是为了进一步提高投影机亮度，一般可比三段色轮提高 20% 左右。但同时，这种色轮技术也会带来投影机的色彩还原不够的问题，使图像色彩失真，降低了画质。另外，在设计中，可以将脉冲信号同步锁定在 W 段中，脉冲宽度与 W 段宽度对应，可以一定程度上减少画面的闪烁现象。该技术主要应用在会议室、教学用投影机。;六段色轮是由 RGBRGB 共 6 段颜色组成的色轮，随着色轮转速相应提高（ 180HZ ）和单位时间内处理画面更多，因此，这种设计有效地减少了运动图象和边缘的彩虹效应，视频动态效果更好，图象的色彩更丰富、更艳丽。但由于六色分段分隔较多，集光柱通过各色段之间时光损耗也较多，因此，投影机的光亮度往往比较低，因此，也有少数投影机厂家开始设计采用 7 段色轮 RGBRGBW 技术，以提高投影机亮度和减少画面的闪烁。该技术主要用于针对家用消费和视频要求较高的应用。;SCR （ Sequential Color Recapture ）也称连续色彩补偿技术，其基本原理与以上色轮技术相似，不同之处在于色轮表面采用阿基米德原理螺旋状光学镀膜，集光柱（光通道）采用特殊的增益技术，可以补偿部分反射光，使系统亮度有较大提高（约 40% ）。但该色轮的处理技术相对较复杂，目前只有少数投影机厂家在产品中采用。;单片 DLP 系统年可提供诱人的性能价格比;三片 DLP 系统可提供最高亮度的性能，能显示高达几千流明的亮度。;双片 DLP 系统依靠单片的颜色滤波系统和三片的分光透镜概念可提供 DLP 的另一种性能水平;DLP Pico Projector Development Kit;1、全数字化;2、数字灰度;3、发射优势;数字投影芯片;Medical - An accurate and non-invasive way to look into the body. Direct Imaging Lithography - Improve through