光电功能薄膜技术1序言材料系.pptVIP

课程名称：光电功能薄膜技术（研讨）;薄膜有时与类似词汇“涂层” （coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）等有相同意义，但有时又有些差别。;薄膜例子;薄膜技术发展历史;为什么需要薄膜;现代科学技术发展，特别是微电子技术发展，过去需要众多器件组合才能实现功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件与系统微型化最有效技术手段。;薄膜种类;反射膜 例如用于民用镜与太阳灶中抛物面太阳能接收器镀铝膜；用于大型天文仪器与精密光学仪器中???膜反射镜；用于各类激光器高反射率膜（反射率可达99%以上）等等。;4、机械薄膜： （硬质膜、耐蚀膜、润滑膜）;按制备方法分类;薄膜技术在电子学领域中意义;薄膜技术在光学领域中意义;E-beam Evaporation Machine;两类薄膜生长方法：薄膜沉积与薄膜外延;薄膜技术在基础研究上意义;光电功能薄膜技术（研讨）课程目;授课内容 ;参考书 1、顾培夫主编，薄膜技术，浙江大学出版社，1990 2、唐晋发，顾培夫主编，薄膜光学与技术，机械工业出版社，1987 3、H. A. Macleod主编, THIN-FILM OPTICAL FILTERS, Institute of Physics Publishing, 2019 4、吴自勤、王兵主编，薄膜生长，科学出版社，2019;;