光电成像原理第五章 直视型电真空成像物理.ppt

5 电子透镜 旋转对称电磁场具有聚焦成像性能，通常在电子光学中，也把凡是能形成旋转对称电场、磁场或复合电磁场电子光学系统中电极系统与/或磁场系统称为电子透镜。电子透镜按场情况分为静电透镜、磁透镜与复合透镜。 最常见静电透镜按轴上电位分布形状不同可以分为膜孔透镜、单透镜、浸没透镜与阴极透镜四大类。 下一页 返回5.4 （1）膜孔透镜 这种透镜结构简单：一块薄膜片，上面开一个很小圆孔。膜片隔开两个不同但恒定电场，即在膜片两侧分别具有线性上升或下降电位区域。单独一个圆孔光阑并不能组成一个透镜，在两侧还必须有辅助电极存在。 下一页 上一页 （2）单透镜 这种透镜近似于两侧与空气相邻单个光学会聚透镜。单透镜一般由三个直径相同（或不相同）同轴圆筒形电极（或膜片）组合而成。通常，三个电极组合形状是对称。在这种透镜两侧具有相同而恒定电位。由于外侧电极电位相同（V1＝V3）而中央电极电位V2为零，因此只需要一个电位（如V1）就能工作，故这种透镜又称为单电位透镜。 下一页 上一页 （3）浸没透镜 在这种透镜两侧有恒定电位，但不相同，即电子光学折射率不同。这种透镜类似于光学中为提高透镜分辨力而将光学透镜一侧浸没于油中情况。大多数浸没透镜由两个圆筒形电极组成，但也可以用两个膜片或一个圆筒与—个膜片组合而成。 下一页 上一页 （4）阴极透镜 这种