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《电子工业纯水站设计规范》(初稿) 2007.10
1. 总则.......................................................................................................................................................2
2. 术语.......................................................................................................................................................3
3. 纯水站房...............................................................................................................................................6
3.1. 一般规定...............................................................................................................................6
3.2. 设备布置...............................................................................................................................7
3.3. 管道布置...............................................................................................................................8
4. 纯水制备工艺.....................................................................................................................................10
4.1. 一般规定.............................................................................................................................10
4.2. 预处理.................................................................................................................................12
4.3. 脱盐及深度处理.................................................................................................................15
4.4. 精处理（抛光）.................................................................................................................17
4.5. 微粒、总有机碳、细菌、溶解氧和二氧化硅.................................................................17
4.6. 水箱、水泵及管道.............................................................................................................18
5. 纯水输送.............................................................................................................................................19
5.1. 一般规定.....................................
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