第八章 电子光学基础知识分享.pptVIP

第二篇 电子显微分析技术;绪论;主要内容;透射电子显微镜（TEM）具有原子尺度的分辨能力，同时提供物理分析和化学分析所需全部功能的仪器。特别是选区电子衍射技术的应用，使得微区形貌与微区晶体结构分析结合起来，再配以能谱或波谱进行微区成份分析，得到全面的信息。 ;电子探针（EPMA）是在扫描电镜的基础上配上波谱仪或能谱仪的显微分析仪器，它可以对微米数量级侧向和深度范围内的材料微区进行相当灵敏和精确的化学成份分析，基本上解决了鉴定元素分布不均匀的困难。 ;电子显微分析在材料学中的应用;第八章 电子光学基础; §8－1 光学显微镜的局限性 §8－2 电子的波性及波长 §8－3 电子在电磁场中的运动和电子透镜 §8－4 电子透镜缺陷和分辨率 §8－5 电磁透镜的景深和焦深 ;§8－1 光学显微镜的局限性 ;1　对于可见光的波长在390~770nm之间 2　N?A(nsinα-数值孔径）值均小于1，最大只能达到1.5~1.6; 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠得太近，过分重叠，图象就模糊不清。 ;图（c）两个Airy斑 明显可分辨出。;1. 对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 2. 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 ; 高能辐射区 γ射线 能量最高，来源于核能级跃迁 χ射线 来自内层电子能级的跃迁 光学光谱区 紫外光 来自原子和分子外层电子能级的跃迁 可见光 红外光 来自分子振动和转动能级的跃迁 波谱区 微波 来自分子转动能级及电子自旋能级跃迁 无线电波 来自原子核自旋能级的跃迁;利用紫外线　　　强烈地吸收 X射线　　　　　没有办法使其聚焦;§8－2 电子的波性及波长 比可见光波长更短的有： 1）紫外线 —— 会被物体强烈的吸收； 2）X 射线 —— 无法使其会聚 ； 3）电子波 根据德布罗意物质波的假设，即电??具有微粒性，也具有波动性。电子波 ; h —— Plank 常数 ， m —— v ——电子速度;一、电子在静电场中的运动和静电透镜 电子是带负电粒子，电子波在静电场或磁场中运动，与光波在不同折射率的介质中传播比较，具有相似的光学性质. 1．静电场与电子光学折射定律 静电场—相对于观察者为静止的，不随时间变化的电场。 均匀电场的三个特点：(P83) 电子光学折射定律： Sinθ/Sinγ=（V2/V1）1/2=λ1/λ2 ;;2．静电透镜　;;3．静电透镜的特点;二、电子在磁场中的运动 和磁透镜;2．磁透镜 把能使电子波聚焦的具有旋转对称非均匀的磁极装置叫做磁透镜。 恒磁透镜：恒磁体提供磁场。 电磁透镜：电磁线圈激磁。 ; 磁透镜;3．电磁透镜特点：;§8－4 电子透镜的缺陷和分辨距离 电子透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨 距离，对电镜分辨本领起作用的是球差、象散和色差。 1） 球 差 球差是由于电子透镜的中心区域和边沿区域对电子的会聚能力 不同而造成的。远轴的电子通过透镜后折射得比近轴电子要厉害得 多，以致两者不交在一点上，结果在象平面成了一个漫散圆斑，半 径为 还原到物平面，则 为球差系数，最佳值是0.3 mm 。 为孔径角，透镜分辨本领随其增大而迅速变坏。;α;2）象差 磁场不对称时，就出现象差。有的方向电子束的折射比别的 方向强，如图所示，在A平面运行的电子束聚焦在Pa点， 而在B平面运行的电子聚焦在Pb点，依次类推。 这样，圆形物点的象就变成了椭圆形的漫散圆斑，其平均半 径为 还原到物平面 为象散引起的最大焦距差； 透镜磁场不对称，可能是由于极靴被污染，或极靴的机械不 对称性，或极靴材料各项磁导率差异引起。象散可由附加磁场的 电磁消象散器来校正。;平面B;3）色差 电子的能量不同，从而波长不一造成的。电子透镜的焦距随着电子能