Q_FPI 82-2020自激电感耦合射频电源.pdf

ICS Q/FPI 聚光科技（杭州）股份有限公司企业标准 Q/FPI 82—2020 代替 Q/FPI 82-2017 自激电感耦合射频电源 文稿版次选择 2020 - 03 – 20 发布 2020 - 03 - 25 实施 聚光科技（杭州）股份有限公司 发 布 前 言 本标准按GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第一部分：标准的结构和编写》的规定进行编制。 本标准由聚光科技（杭州）股份有限公司提出。 本标准起草单位：聚光科技 （杭州）股份有限公司。 本标准主要起草人：张建、朱小炜、苏德怀。 I 自激电感耦合射频电源 1 范围 本标准规定了自激电感耦合射频电源的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于针对电感耦合等离子体发射光谱仪或电感耦合等离子体四极杆质谱仪使用的自激电 感耦合射频电源。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB/T 2829-2002 周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验） GB 4793.1-2007 测量、控制和试验室用电气设备的安全要求 第1部分：通用要求（IEC 61010-1： 2001 ，IDT ） GB/T 11606-2007 分析仪环境试验方法 GB/T 13384-2008 机电产品包装通用技术条件 GB/T 15479-1995 工业自动化仪表绝缘电阻绝缘强度技术要求和试验方法 JJG 768-2005 发射光谱仪 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3.1 自激式电感耦合射频电源 是一种自动调节射频电源驱动频率实现向固定的紧耦合等离子线圈提供射频功率的电源设备。 3.2 输出功率稳定性 设置射频电源输出功率，要求功率大于1350W，测稳定性10min。 3.3 输出电流稳定性 设置射频电源输出功率，要求功率大于1350W，测稳定性10min。 4 产品命名规则 1 4.1 产品命名 EXPEC XXX 自激式电感耦合射频电源 产品名称。 产品型号系列，由三位或四位数字或字符组成。 产品代号，由五位英文字母组成。 示例：EXPEC 600 自激式电感耦合射频电源——“EXPEC”为产品代号；“600”为产品型号系列；“自 激式电感耦合射频电源”为产品名称。 4.2 型号说明 a. A 型：用于等离子体四极杆质谱仪； b. B 型：用于等离子体光谱仪； 5 技术要求 5.1 影响量的参比工作条件 影响量的参比工作条件及其允差见表 1。 表1 参比工作条件 项目 序号 影响量 参比值或范围 1 环境温度 25℃