功能高分子材料课件第五章光活性高分子-1，2教学材料.ppt

第四章 光活性高分子材料;第一节 感光树脂; 其中开发比较成熟并有实用价值的感光性高分 子材料主要是指光致抗蚀材料和光致诱蚀材料，产 品包括光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂 料等。 本节中主要光致抗蚀材料和光致诱蚀材料。感 电子束和感X射线高分子在本质上与感光高分子相 似，故略作介绍。; 作为感光性高分子材料，应具有一些基本性 能，如对光的敏感性、成像性、显影性、膜的物理 化学性能等。但对不同的用途，要求并不相同。如 作为电子材料及印刷制版材料，对感光高分子的成 像特性要求特别严格；而对粘合剂、油墨和涂料来 说，感光固化速度和涂膜性能等则显得更为重要。; 光刻胶是微电子技术中细微图形加工的关键材 料之一。特别是近年来大规模和超大规模集成电路 的发展，更是大大促进了光刻胶的研究和应用。 印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸酯就是首先用于 印刷技术，以后才用于电子工业的。与传统的制版 工业相比，用光刻胶制版，具有速度快、重量轻、 图案清晰等优点。尤其是与计算机配合后，更使印 刷工业向自动化、高速化方向发展。; 感光性粘合剂、油墨、涂料是近年来发展较快 的精细化工产品。与普通粘合剂、油墨和涂料等相 比，前者具有固化速度快、涂膜强度高、不易剥 落、印迹清晰等特点，适合于大规模快速生产。尤 其对用其他方法难以操作的场合，感光性粘合剂、 油墨和涂料更有其独特的优点。例如牙齿修补粘合 剂，用光固化方法操作，既安全又卫生，而且快速 便捷，深受患者与医务工作者欢迎。; 感光性高分子作为功能高分子材料的一个重要 分支，自从1954年由美国柯达公司的Minsk等人开 发的聚乙烯醇肉桂酸酯成功应用于印刷制版以后， 在理论研究和推广应用方面都取得了很大的进展， 应用领域已从电子、印刷、精细化工等领域扩大到 塑料、纤维、医疗、生化和农业等方面，发展之势 方兴未艾。本章将较为详细地介绍光化学反应的基 础知识与感光性高分子的研究成果。;2 感光性高分子材料 2.1 感光性高分子的分类 感光性高分子材料经过50余年的发展，品种日 益增多，需要有一套科学的分类方法，因此提出了 不少分类的方案。但至今为止，尚无一种公认的分 类方法。下面是一些常用的分类方法。;（1）根据光反应的类型分类 光交联型，光聚合型，光氧化还原型，光二 聚型，光分解型等。 （2）根据感光基团的种类分类 重氮型，叠氮型，肉桂酰型，丙烯酸酯型等。 （3）根据物理变化分类 光致不溶型，光致溶化型，光降解型，光导 电型，光致变色型等。;（4）根据骨架聚合物种类分类 PVA系，聚酯系，尼龙系，丙烯酸酯系，环氧 系，氨基甲酸酯（聚氨酯）系等。 （5）根据聚合物的形态和组成分类 感光性化合物（增感剂）+ 高分子型，带感光 基团的聚合物型，光聚合型等。 图1表明了上述分类间的相互关系。 ;第一节 感光树脂;2.2 重要的感光性高分子 2.2.1 高分子化合物＋增感剂 这类感光性高分子是由高分子化合物与增感剂 混合而成。它们的组分除了高分子化合物和增感剂 外，还包括溶剂和添加剂（如增塑剂和颜料等）。 增感剂可分为两大类：无机增感剂和有机增感 剂。代表性的无机增感剂是重铬酸盐类；有机增感 剂则主要有芳香族重氮化合物，芳香族叠氮化合物 和有机卤化物等，下面分别介绍。;（1）重铬酸盐 ＋ 亲水性高分子 重铬酸盐导致高分子化合物光固化的反应机理 尚不十分清楚。但一般认为经过两步反应进行。 首先，在供氢体（如聚乙烯醇）的存在下，六 价铬吸收光后还原成三价铬，而供氢体放出氢气生 成酮结构。; 然后，三价铬与具有酮结构的PVA配位形成交 联固化结构，完成第二阶段反应。; 在重铬酸盐水溶液中，Cr[VI]能以重铬酸离 子(Cr2O2＝)、酸性铬酸离子 (HCrO4－)以及铬酸离 子(CrO4＝)等形式存在。其中只有 HCrO4－是光致 活化的。它吸收250nm，350nm和440nm附近的光 而激发。因此，使用的高分子化合物必须是供氢 体，否则不可能形成HCrO4－。; 当pH＞8时，HCrO4－不存在，则体系不会发 生光化学反应。利用这一特性，在配制感光液时， 加入氨水使之成碱性，可长期保存，不会反应。成 膜时，氨挥发而使体系变为酸性，光化学反应能正 常进行。从表1可见，重铬酸铵是最理想的增感 剂，也是因为上述原因。 ;第一节 感光树脂;（2）芳香族重氮化合物 ＋ 高分子