第一章薄膜制备的真空技术基础S幻灯片资料.pptVIP

第1章 薄膜制备的 真空技术基础 1. 真空的定义：真空泛指压力低于一个 大气压的任何气态空间。 1.1 真空的基本知识 2. 真空度的单位 真空度实质上与气体压力是同一物理概念。真空度越高，即气体压力越小；反之真空度越低，即气体压力越大。真空度的上限就是一个标准大气压，即760毫米汞柱。 1.1 真空的基本知识 ---大气压(atm): 标准的大气压力定义为1 atm ---帕(Pa): N/m2 (常用单位：Pa) ---巴(Bar): Dy/cm2, (常用单位：mBar) ---乇(Torr):1/760 atm, (常用单位：Torr) 3、碰撞频率Ф（气体分子通量）：在单位时间, 单位面积表面受到气体分子碰撞的次数。 1.2 气体分子运动论的基本概念 （3） 将式（1）和（2）代入上式，可以求出气体分子的通量： 1.2 气体分子运动论的基本概念 4、 分子平均自由程λ：气体分子在两次碰撞的间隔时间里走过的平均距离。 式中d为气体分子的有效截面直径。气体分子的平均自由程与气体分子的密度n成反比。 5、 真空度的划分 低真空： 10 2Pa 中真空：102～ 10-1Pa 高真空： 10-1～10-5Pa 超高真空：10-5 Pa 1.3 气体的流动状态和真空抽速 1、 气体的流动状态 在高真空环境中，气体分子除了与容器器壁发生碰撞以外，