(新)放电等离子烧结技术的发展和应用_.pdfVIP

放电等离子烧结技术的发展和应用 1 前言 随着高新技术产业的发展,新型材料特别是新型功能材料的种类 和需求量不断增加,材料新的功能呼唤新的制备技术。放电等离子烧 结(ＳｐａｒｋＰｌａｓｍａＳｉｎｔｅｒｉｎｇ,简称ＳＰＳ)是制 备功能材料的一种全新技术,它具有升温速度快、烧结时间短、组织 结构可控、节能环保等鲜明特点,可用来制备金属材料、陶瓷材料、 复合材料,也可用来制备纳米块体材料、非晶块体材料、梯度材料等。 2 国内外ＳＰＳ的发展与应用状况 ＳＰＳ技术是在粉末颗粒间直接通入脉冲电流进行加热烧结,因 此在有的文献上也被称为等离子活化烧结或等离子辅助烧结(ｐｌａ ｓｍａａｃｔｉｖａｔｅｄｓｉｎｔｅｒｉｎｇ-ＰＡＳ或ｐｌａｓ ｍａ-ａｓｓｉｓｔｅｄｓｉｎｔｅｒｉｎｇ -ＰＡＳ)[1,2]。早在 1930 年,美国科学家就提出了脉冲电流烧结原理,但是直到 1965 年, 脉冲电流烧结技术才在美、日等国得到应用。日本获得了ＳＰＳ技术 的专利,但当时未能解决该技术存在的生产效率低等问题,因此ＳＰＳ 技术没有得到推广应用。 1988年日本研制出第一台工业型ＳＰＳ装置,并在新材料研究领 域内推广应用。1990年以后,日本推出了可用于工业生产的ＳＰＳ第 三代产品,具有10～100ｔ的烧结压力和脉冲电流5000～8000Ａ。最 近又研制出压力达 500ｔ,脉冲电流为 25000Ａ的大型ＳＰＳ装置。 由于ＳＰＳ技术具有快速、低温、高效率等优点,近几年国外许多大 学和科研机构都相继配备了ＳＰＳ烧结系统,并利用ＳＰＳ进行新材 料的研究和开发[3]。1998年瑞典购进ＳＰＳ烧结系统,对碳化物、氧 化物、生物陶瓷等材料进行了较多的研究工作[4]。 国内近三年也开展了用ＳＰＳ技术制备新材料的研究工作[1,3], 引进了数台ＳＰＳ烧结系统,主要用来烧结纳米材料和陶瓷材料[5～ 8]。ＳＰＳ作为一种材料制备的全新技术,已引起了国内外的广泛重 视。 3 ＳＰＳ的烧结原理 31 等离子体和等离子加工技术[9,10] ＳＰＳ是利用放电等离子体进行烧结的。等离子体是物质在高温 或特定激励下的一种物质状态,是除固态、液态和气态以外,物质的第 四种状态。等离子体是电离气体,由大量正负带电粒子和中性粒子组 成,并表现出集体行为的一种准中性气体。 等离子体是解离的高温导电气体,可提供反应活性高的状态。等 离子体温度4000～10999℃,其气态分子和原子处在高度活化状态,而 且等离子气体内离子化程度很高,这些性质使得等离子体成为一种非 常重要的材料制备和加工技术。 等离子体加工技术已得到较多的应用,例如等离子体ＣＶＤ、低 温等离子体ＰＶＤ以及等离子体和离子束刻蚀等。目前等离子体多用 于氧化物涂层、等离子刻蚀方面,在制备高纯碳化物和氮化物粉体上 也有一定应用。而等离子体的另一个很有潜力的应用领域是在陶瓷材 料的烧结方面[1]。 产生等离子体的方法包括加热、放电和光激励等。放电产生的等 离子体包括直流放电、射频放电和微波放电等离子体。ＳＰＳ利用的 是直流放电等离子体。 32 ＳＰＳ装置和烧结基本原理 ＳＰＳ装置主要包括以下几个部分:轴向压力装置;水冷冲头电 极;真空腔体;气氛控制系统(真空、氩气);直流脉冲电源及冷却水、位 移测量、温度测量和安全等控制单元。ＳＰＳ的基本结构如图1所示。 ＳＰＳ与热压(ＨＰ)有相似之处,但加热方式完全不同,它是一种 利用通-断直流脉冲电流直接通电烧结的加压烧结法。通-断式直流脉 冲电流的主要作用是产生放电等离子体、放电冲击压力、焦耳热和电 场扩散作用[11]。ＳＰＳ烧结时脉冲电流通过粉末颗粒如图2所示。 在ＳＰＳ烧结过程中,电极通入直流脉冲电流时瞬间产生的放电等离 子体,使烧结体内部各个颗粒均匀地自身产生焦耳热并使颗粒表面活 化。与自身加热反应合成法(ＳＨＳ)和微波烧结法类似,ＳＰＳ是有效 利用粉末内部的自身发热作用而进行烧结的。这种放电直接加热法, 热效率极高,放电点的弥散分布能够实现均匀加热,因而容易制备出均 质、致密、高质量的烧结体。ＳＰＳ烧结过程可以看作是颗粒放电、 导电加热和加压综合作用的结果。除加热和加压这两个促进烧结的因 素外,在ＳＰＳ技术中,颗粒间的有效放电可产生局部高温 ,可以使表 面局部熔化、表面物质剥落;高温等离子的溅射和放电冲击清除了粉 末颗粒表面杂质(如去除表层氧化物等)和吸附的气体。电场的作用是 加快扩散过程[1,9,12]。 4 ＳＰＳ的工艺优势 ＳＰＳ