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我国湿电子化学品行业研究 （一）行业发展概况 1 、行业发展历史 （1 ）国外湿电子化学品发展历史 湿电子化学品是 20 世纪 60 年代从高纯化学试剂产品领域发展起来的。 20 世纪 60 年代末出现用于集成电路制造的电子级专用化学试剂。此类试剂 一般用于集成电路制造的清洗、蚀刻、掺杂、显影、晶圆表面处理、去膜、去光 刻胶等工序中。 因此， 一类新型的高纯化学试剂便产生， 业界将其称为湿电子化 学品（又称超净高纯化学品） 。 1975 年，国际半导体设备与材料组织（ SEMI ）成立 SEMI 化学试剂标准 委员会， 专门制定湿电子化学品的国际标准。 对世界湿电子化学品的等级标准做 了统一的规范。 SEMI 标准现已成为世界湿电子化学品制造业中通行的、 最权威 的标准。 进入 21 世纪，国际 SEMI 标准化组织又根据湿电子化学品在世界范围内 实际发展情况对原有的分类体系进行了归并， 按品种进行分类， 每个品种归并为 一个指导性标准。国际上制备 SEMI G1 至 SEMI G4 级各种不同等级湿电子化 第 1 页 共 37 页 学品的技术已趋于成熟。随着集成电路向着纳米级发展，国际上 SEMI G4 以上 级别的高纯试剂生产技术也日渐成熟。 近年来， 湿电子化学品成为了超大规模集成电路制造业深入、 快速发展中越 来越不可缺少的、 支撑其新技术发展重要辅助工艺材料。 为此， 它也成为电子化 学品中需求量大幅增长、技术高速发展的一类产品。同时，随着显示面板、太阳 能电池领域的发展， 湿电子化学品用量进一步扩大， 呈现出极为广阔的发展前景。 在世界湿电子化学品市场上， 20 世纪 90 年代中后期及 21 世纪初，高端湿 电子化学品呈现由德、美、日知名企业垄断的局面。近几年，随着显示面板、太 阳能电池等湿电子化学品新市场的开辟及扩大， 韩国、 中国大陆及台湾地区的湿 电子化学品在世界市场的份额在逐渐提高。 （2 ）我国湿电子化学品发展历史 我国湿电子化学品发展整体可分为三个阶段。 ①初期发展阶段（ 20 世纪 70 年代中期至 21 世纪初） 20 世纪 70 年代中期，我国湿电子化学品起步，技术水平、生产能力与国 际上大型湿电子化学品生产企业相差甚远。 随着国家将超净高纯试剂的研发列入 重点科技攻关计划， 国内企业纷纷加入湿电子化学品行业。 该阶段， 行业整体发 展缓慢，超净高纯电子化学品产量远不能满足国内生产需求。 第 2 页 共 37 页 ②规模化发展阶段（ 2006 年-2009 年） 2005 年以来， 国家加强了化学试剂生产企业管理， 陆续出台了一系列监管 法律法规，行业整体规范性得到极大的提升， 也为行业快速发展打下坚实的基础。 我国华东地区的湿电子化学品生产规模得到快速发展，行业内很多企业掌握了 SEMI G1 、G2 等级化学试剂的生产技术，少数企业具备了 SEMI G2 等级化学 试剂规模化生产的能力，部分产品关键指标已达到 SEMI G3