皮秒激光应用ppt课件[文字可编辑].pptVIP

皮秒激光的应用 1 激光加工对激光光束的要求 2 ? 超短脉冲加工：能量极快地注入很小的作用区域，瞬间高 能量密度沉积使电子吸收和运动方式发生变化，避免了激 光线性吸收、能量转移和扩散等影响，从根本上改变了激 光与物质相互作用机制。 ? 皮秒脉冲激光加工优点：结构简单、效费比高、成本适中 、重复性好、使用方便 3 ? 皮秒激光加工刚刚兴起，主要应用行业包括： 半导体产 业 ( 低 k 材料 ) 、 太阳能产业 ( 特别是薄膜技术 ) 、 平 面显示产 业 (TCO, OLEDs) 、 钻石微铸造 (micro-molds) 、精确孔径 (precise apertures) 和 电极结构 (electrode structure) 加工 、 印刷产业 (printing industry) 或 滚筒压 纹 (embossing of rolls) 、 医学植入 (medical implants) 等大型 微结构 表面。 ? 大型 船舰 的微细加工，微尺度特性提供 抗垢保护和磨擦 降低功能 。 ? 高压缩汽缸注入 喷嘴 (injection nozzles) 和 薄型玻璃材料 的 切割与钻孔。 强化玻璃、硅、蓝宝石晶圆和发光二极管 等加工 。 4 ? 轻薄、省电、自发光、大显示角，下一代显 示屏的最佳选择 有机发光二极管 (OLED) 加工 平均输出功率 重复频 率 速度 脉冲能量 200 kHz 6m/s 1 μ J 5 太阳能电池加工 选择性清除 Si- 片上的 SiO2 膜层 ，无可见残渣，底层芯片几乎无损伤 335nm ， 0.11J/cm2 6 薄膜太阳能电池结构制作 用 1064nm 和 532nm 皮秒脉 冲划线加工，无熔融材料或 电接触遗留在 TCO 边缘和钼 背接触层，有利于获得高效 率太阳能电池 7 透明材料钻孔 ? 避免 CO2 及纳秒激光钻孔所伴随的微裂纹及碎 屑产生 ? 皮秒激光钻孔，实现边缘、侧壁的光滑加工， 防止应力集中、材料碎裂 石英 D236T 玻璃薄片 1064nm 14W 8 不锈钢钻孔 φ100μm 重频 1kHz ，平均功率 1W 脉宽 20ps 脉冲能量 1mJ 厚 0.2mm 的不锈钢进行打 φ570μm 孔 高质量的孔径边缘、内孔壁加工效果，微米级的重复精度 螺线钻孔 ( 环钻 ) 方 式改进钻孔质量，使孔的出口呈现清晰的圆形边缘 9 喷油嘴钻孔 用高功率皮秒激光器钻孔喷油嘴，产生了 非常尖锐的边缘，孔内没有毛刺或熔化， 表面非常光滑，从而能实现最优化的燃料 喷雾。此外，喷油嘴的锥度可以从正值、 零值到负值，为优化喷射过程提供了一定 的自由度。 50W 的平均功率与高达 250μJ 的脉冲能量相结合，能够实现高速、高质 量的钻孔 10 航空航天领域发动机散热片的钻孔 加工 ? 随着航空航天事业发展，各种 新型材料不断得到应用，就飞 行器发动机的散热片，目前以 镍基合金、钛合金等各类高温 合金为主。产品需求在此类合 金上加工通孔以达到散热效果 。 ? 传统工艺来看，在金属上 钻孔，可以选择高功率的光纤 或 CO2 设备即满足需求。但是 作为航空航天应用，散热片在 使用过程中承受更高的温度， 机械的震动等恶劣的环境。传 统钻孔工艺显得力不从心。 11 改良金属翼面表层结构 ? 应用流体学主要研究如何减小涡轮机叶片或机翼上流阻，因 此，被称为“缝翼”的活动肋状结构在流控系统表面的应用 目前正在研究当中。这些结构可以减小翼面和周围气流之间 的紊流干扰。 试样是采用脉宽约 12 ps 的 Staccato 激光器 实现的 12 刻蚀 13 Si 晶片精细加工 速度： 400mm/s 破坏阈值：约 0.1J/cm2 14 Si 片晶元划线 高度重叠、均匀划线无剥离、边缘光滑，无疵点 —— 干净刻划 15