扩散炉常见故障及维护讲解.ppt

扩散炉常见故障及维护 Tempress 扩散炉 1 TUBE 尾气压力偏高 检查尾气管是否被偏磷酸堵塞 检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭 2 TUBE 尾气压力偏低 检查炉管是否存在缺口或裂口 检查炉门是否关闭不良 检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损 检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气 检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大 3 各气路流量异常 检查气路阀的气路气管或接头是否漏气 检查气路阀气是否损坏 检查气路流量计是否工作正常 4 部分制程中 Paddle TC 温度偏高或偏低 检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果 有波动，可让工艺做 profiling 检查 Spike TC 是否与炉管接触良好 5 全制程中 Paddle TC 温度较高或显示 1499 度 检查 Paddle TC 接头是否接触不良 检查 paddle TC 是否损坏 6 DMC 通迅错误 检查 CPU 模块错误指示灯是亮起 在手动情况下确认各个电机和 Sense 是否正常 检查各个电机到 DMC 的电缆是否损坏 7 在制程中卡桨 检查电机是否损坏 检查传动部分是否工作正常 ( 丝杆和轴承 ) 检查电机到 DMC 的电缆是否接触不良或断裂 8 炉管无法升温 检查温度控制器是否警报 9 R2D 机械手在自动或 Home 中不移动 检查控制 Y 轴的保险丝是否烧断 10 R2D 机械手在自动无法从桨上取舟 检查工艺制程是否完成 在 R2D 屏幕中检查输入输出通迅是否正常 检查 R2D 机械手的触点开关是否工作正常 检查 Shuttle 上的触点开关是否工作正常 11 机械手在自动中无法从 Shuttle 上取舟 在 R2D 机械手屏幕中检查炉管的状态 ( 必要时清除 ) 检查 R2D 机械手的触点开关是否工作正常 在 R2D 屏幕中检查输入输出通迅是否正常 48 所扩散炉 1 按下进舟按钮时 , 将不移动 检查将是否后退太多导致限位触点压下 48 所恒温槽 1 警报灯这 , 显示 ER.01 检查温度传感器是否断线 , 异常 2 警报灯这 , 显示 ER.03 检查恒温槽电压是否异常 检查加热丝是否断线 3 警报灯这 , 显示 ER.19 （温度过升） 检查循环泵是否卡死 检查冷却器是否损坏 4 警报灯这 , 显示 ER.20 （空烧异常） 检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约 3MM ） 检查浮动开关是否卡死或损坏 TEMPRESS 基本结构 1.DTC 7. Furnace ， Spike 2.DPC 8. Power supply 3.DMC 9. Bubbler system 4.Touch screen 10. 温控装置 5.Paddle 11.Fan 6.Gas DTC 数据处理模块 DPC --- 整个炉管数据的处理 DMC Furnace Spike Bubbler system 起给 POCL3 加热保 温作用，一定要用 1.5 升的标准瓶 自动温控器装置 可以设定最高温度，控制炉管过温 Fan 伺服单元的设置 目的 : 当出现 boat fused 的警报或各伺服系统不正确运动时 , 我们需要对 DMC (digital motor controller) 进行初使化 . 当炉管在每次清洗后 , 为了避免因炉管位置的变动导致 DMC 错误 , 要求在每次装管时对 DMC 进行初使化 . 步骤 : 一 . 清除 CPU 模块内存 1. 将桨的位置定在 home 位 ( 舟出 ) 2. 等侍炉门关闭 3. 将自动、手动开关设为手动模式 4. 将 CPU 模块旋转开关转到 0 位 5. 关闭该炉管的控制电源 6. 等待至少 10 秒钟 7. 打开控制电源 8. 等待至少 10 秒钟 9. 再次关闭该炉管的控制电源 10. 将 CPU 模块旋转开关转到 7 位 11. 打开控制电源 这时 , 当 DMC 模块启动后 , 在 Servo driver status 界面，三个伺服电机的“ Position Valid”和“Calibrated”均显示为 NO 1 － CPU