大气压放电等离子体射流研究进展.pdfVIP

2013年第34期 NO.34.2013 （总第277期） ( CumulativetyNO.277 ) R 研发设计 esearch and Design 大气压放电等离子体射流研究进展 1 1 2 1 1 1 林德锋　罗书豪　侯世英　郑　锐　陆海东　张　禹 （1.国网四川省电力公司检修公司，四川成都 610042 ；2.重庆大学电气工程学院，重庆 400044 ） 摘要：大气压放电等离子体射流（APPJ）具有极强的应用前景，在近年来引起了国际上的重大关注，成为气 体放电领域的重要研究课题。文章从APPJ装置使用的放电气体类型（惰性气体与非惰性气体）与自身构造原 理出发，综述了国内外大气压放电等离子体射流装置的研究进展，给出了现有基于微空心阴极原理APPJ的放 电特性及装置改进过程。 关键词：大气压等离子体；等离子体射流；介质阻挡放电；微空心阴极放电；射流装置结构 中图分类号：O461          文献标识码：A          文章编号：1009-2374（2013）34-0009-05 自美国弗吉尼亚老道明大学的Laroussi M博士在 MHCD）已经过了100多年的发展历史，其放电时拥有较高 1996首次报道大气压放电射流型等离子体（Atmospheric 的电子浓度，在后来的应用中，人们利用它的高能活性粒 Plasma Jet，APPJ）用于致病菌的杀灭以来，针对APPJ装 子，进行材料表面改性、致病菌杀灭等。其典型构造为三 置的结构设计、放电特性及应用研究，受到了材料、医 层叠状，即金属电极-绝缘介质-金属电极。通常情况下， 学、环境、化工等领域诸多学者的广泛关注。与传统的气 电极使用金属钼、钨、铝或者铜箔制作，绝缘介质则为云 体放电等离子体相比较，APPJ的最大优势在于通过强气流 母、氧化铝陶瓷或聚四氟乙烯等，通过高速钻机或者激光 将等离子体“吹”出放电腔，直接喷射到大气环境中，使 器打一穿孔，孔径典型值为10～500μm。由于阴极孔存在 得等离子体与高压电极分离，对操作者的安全性有极大提 电子钟摆、二次电子发射以及彭宁效应，使得MHCD的电离 高。此外，从传统方式下的气体放电产生等离子体来看， 率较高，外加相对较低的电压就能放电，降低了对外部绝 其放电间隙仅限于毫米到几厘米量级，导致狭小空间内的 缘的要求。更为重要的是，MHCD在非惰性气体（主要指空 带电粒子的活性与寿命受到影响，这就使得处理样品的尺 气和氮气）射流方面有着天然的优势。 寸受到极大限制，即使样品能够进入到放电间隙，也会对 美国老道明大学的Schoenbach课题组基于MHCD原理， 放电的稳定性带来影响，而APPJ的出现恰好克服了这些缺 报道了世界上第一个空气APPJ装置。图1（a）为该装置 点。APPJ的发展与近几年来迅速崛起的等离子体材料学、 结构示意图，中间绝缘介质厚度0.2～0.5mm，两侧电极厚 等离子体医学密切相关。目前，APPJ不仅在金属、金属氧 0.1～0.3mm，放电孔径0.2～0.8mm。当外部空气以8L/min 化物、有机高分子聚合物、热敏感材料的表面亲水性及其 的流量通过放电微孔且两电极间外加直流电压1.5～2.5kV 化学活性的改性方面