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LOGO PSD 原理发展及应用 主讲内容 PSD 结构、工作原理 1 PSD 发展现状 2 PSD 应用举例 3 总结 4 PSD 结构、工作原理 1 PSD 发展现状 2 PSD 应用举例 3 总结 4 PSD 的结构及工作原理 ? PSD （ Position Sensitive Detector ）是 一种光电位敏探测器 ? 器件优点： 以光斑的位置作为模拟信号而输出的半导体器 件，可以获得与光斑强度、分布、对称性和尺寸无关的精确定位 信息。 PSD 输出电流随光点位置不同而连续变化，具有体积小、灵 敏度高、线性范围大、噪声低、响应速度快、后续处理电路简单 等优点 常见的光电位敏探测器 (PSD) 器件 PSD 器件的分类 二维 PSD 器件 一维 PSD 器件 PSD 器件 PSD 的基本原理 ? 当半导体光电器件受光照不均匀时，有 载流子浓度梯度将会产生 横向光电效应 。 ? 当光照部分吸收入射光子的能量产生电 子 - 空穴对时，光照部分载流子浓度比 未受光照部分的载流子浓度大，就出现 了 载流子浓度梯度 ，因而载流子就要 扩 散 。 ? 如果电子迁移率比空穴大，那么空穴的 扩散不明显，则电子向未被光照部分扩 散，就造成光照射的部分带正电，未被 光照射部分带负电，光照部分与未被光 照部分产生 光电动势 。 ? 基于该效应的光电器件 —— PSD PSD 的基本原理 ? 当光照射到硅光电二极管的某 一位置时，结区产生的 空穴载 流子向 P 层漂移 ，而 光生电子则 向 N 层漂移 。到达 P 层的空穴分 成两部分：一部分沿表面电阻 R 1 流向 1 端形成光电流 I 1 ；另一部 分沿表面电阻 R 2 流向 2 端形成光 电流 I 2 。 1 2 1 2 2 1 / / / x x R R I I ? ? 一维 PSD 检测原理 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 1 0 1 2 2 1 I I I x L x L R R I I L x L I I 2 0 1 ? ? L x L I I 2 0 2 ? ? 1 2 1 2 I I I I P x ? ? ? ? Px 称为一维 PSD 位置输出信号，与 光点在光敏面上位置坐标 x 成线性关 系，即位置信息 x 可以通过探测光生 电荷在衬底中的移动来确定。 ? 与表面上的光斑强度、分布、对称 性和尺寸无关，这就是 PSD 的位置检 测特性 二维 PSD 检测原理 ? 式中 X 1 ,X 2 和 X 3 ,X 4 为每个电极的光电流输 出 ;x,y 为光斑的中心位置坐标 ;L 为光敏面 边长。 ? 上式表明，入射光斑的位置坐标（ x ， y ） 可由电极上的电流经过和、差和除法运算 得到。 L x X X X X 2 2 1 1 2 ? ? ? L y Y Y Y Y 2 2 1 1 2 ? ? ? L x Y Y X X Y X Y X 2 ) ( ) ( 2 1 2 1 2 1 1 2 ? ? ? ? ? ? ? L y Y Y X X Y X Y X 2 ) ( ) ( 2 1 2 1 1 1 2 2 ? ? ? ? ? ? ? 二维 PSD 读取位置坐标电路框图 ? 入射光斑的位置坐标（ x ， y ）可由电极上的电流经过和、 差和除法运算得到。上图为读取位置坐标的电路框图 PSD 结构、工作原理 1 PSD 发展现状 2 PSD 应用举例 3 总结 4 PSD 发展历史 改进了表面分割型器件 发展表面分割型和两面分割型器件 推导出了 Lucovskey 方程 首次发现横向电光效应 1930 年 Cu-Cu 2 O 金属半导体结的 Cu 2 O 表面边缘的 Au 电极通 过安培表短接于 Cu 层 描述横向光电效应，奠 定了 PSD 的理论基础 改进分割型进一步发展 1960 年 70 年代 80 年代 90 年代 Text PSD 器件性能的提高 近年来 PSD 的研究已 有进展 , 分辨率大 大提高 , 已有分辨 率高达 PSD 的研究报 道，线性度和稳定 度也有改善。 计算机技术及新的信号处理 技术的研究与应用： ? 利用微机或单片机可简化 电路设计，使系统设计更灵 活，且可实现各种非理想因 素 ( 如非线性 ) 的补偿，这样 可以提高测量精度。 ? 高速信号处理器的应用使 这种信号处理算法容易实现 , 信号采集速度提高，可大大 提高测量速