透射电镜结课论文.pdfVIP

前言 随着的不断发展以及传统物理学、材料学的不断完善，人 们亟需更加深刻地认识、了解 观世界。透射 电子显 镜是研究物质 观世界的强有力工具之一，它可以帮助人们取得高放大倍率、高空 间分辨率的结构信息和组成。 早期的发展步伐是较慢的，但从 1980 年代中后期，特别是进入 1990 年代后期，电镜的发展进入了一个快速发展的时期。这主要得益 于电子技术、真空技术、计算机技术等的飞跃式发展。现代透射电镜 尽管其基本组成结构、基本工作原理未发生本质上大的变革，但其主 机系统各组成部分的稳定性大大提高，因而现代电镜的综合稳定性较 早期的电镜好很多。再结合新的计算机技术，透射电镜的控制和操作 变为全数字化、全电 控制，现代电镜的性能得以显著提高。这一点 体现在：得到一张高分辨透射照片现在非常容易;在材料中， 电镜主机 和能谱仪等分析性附件可以十分方便地相互配合。透射电镜在材料科 学中应用越来越广泛。 透镜的特点及应用 组成与原理　现代透射电子显 镜是由电镜主机以及各种附件 的有机组合。其中，主机部分由电子枪、镜筒、样品台、照相系统、高 压系统、真空系统及电镜控制系统等核心部分组成。现代透射电镜根 据应用要求不同，将最高加速电压设计为 120kV、200kV 和 300kV，这 三种高压是材料研究中最常用的。镜筒中最核心的部分是物镜，根据 应用要求可以选择不同的物镜。 透射 电镜的基本工作原理是：以电子束作为光源，用电磁透镜对 入射电子所穿透的样品聚焦成像，获得样品结构信息。据此，透射 电 镜首先作为一个放大镜和 电子衍射仪。从放大镜的角度来看，在较低 的放大倍数时，主要观察样品的形貌，在高倍时可以得到高分辨照片， 不同情况下需要用不同的衬度原理来解释，这往往需要非常专业的电 子光学知识。由于透射电镜上得到的高分辨照片往往受到各种因素， 比如物镜的球差、样品的厚度不均一性等的影响，对高分辨照片的解 释有时是很困难的。这就要求分析者必须结合透射电镜的分析功能来 辅助分析和判断。现代透射电镜除了在高分辨性能上着力发展外，在 分析能力上也表现出了传统透射 电镜不可比拟的优越性能，因此，对 新材料的研发起着不可替代作用。 特点　透射 电镜以电子束作为光源，用电磁透镜对入射电子所穿 透的样品聚焦成像，获得样品结构信息的 电子光学仪器。众所周知，图 像观察、结构研究等各种基本功能都是由透射 电镜的主机提供的。然 而，一些功能的实现要靠电镜主机与附件之间的有机配合来完成的。 如，微区的成分分析就需要 EDS 附件和电镜的纳米束斑模式进行配 合才可以实现。在高度数字化的今天，CCD 相机在很多时候可以代替 胶片采集透射 电子信号进行数字成像及完成一些简单的图像分析功 能，也成为了透射电镜不可或缺的主要附件之一。再者由于透射电镜 只能对直径为 3 毫米、厚度在 100 纳米以下的样品进行较好的分析研 究，因此一些附属制样设备也是必须的，特别是对研究一些块状的材 料。 作为一台现代电镜，除了要求仪器有良好的分辨本领外，其分析 功能则更加受到使用者青睐，并在实际工作中更为实用。特别是对于 钢铁企业来说，分析晶界、沉淀相的成份及含量是工作中需要经常处 理的任务。现代透射电镜在提供高分辨率 图像的同时，还能与 EDS 及 CCD 附件同时采集数据，在提供 TEM 及 STEM 像时，同时可以根 据需要给出成份组成及含量的分析数据。并实时显示在显示器上，同 步进行，是完全准确的一一对应关系，直观高效。 一般来讲，材料科学用户多选择 200kV 以上(含 200kV)的电镜， 他们追求图像的分辨率和纳米尺度的成分、晶体结构分析(加速 电压 越高、分辨率越好);生命科学用户多选择 100kV、120kV 的透射电镜， 他们更看重或追求图像的衬度(加速 电压越低、衬度越好)。但研究领 域不同，也不能一概而论。 场发射透射 电镜与六硼化镧型透射电镜的比较，场发射透射 电镜 的分辨率没有提高(因为球差系数没有变化)，优点是亮度高(场发射枪 的亮度是六硼化镧枪的 100倍，钨灯丝枪的 1000倍)、电子的能量发散 度小和相干性好。 空间分辨率高(亮度)是场发射透射 电镜的突出优点，利用场发射 枪高亮度的特点，可进行高空间分辨率的观察，即在很小的束斑尺寸 下(例如：束斑尺寸为 0.5nm 时)，进行晶体结构(