MEMS加速度传感器的地原理与构造[参考].pdfVIP

微系统设计与应用 加速度传感器的原理与构造 班 级： 2012 机自实验班 指导教师： xxx 小组成员： xxx xx 大学机械工程学院 二 OO五年十一月 摘要 摘 要 随着硅微机械加工技术 (MEMS)的迅猛发展 , 各种基于 MEMS技术的器件也应运 而生 , 目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、 加速度传感器、 光开关等等 , 它们 有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点 , 而且因为其加工工艺一 定程度上与传统的集成电路工艺兼容 , 易于实现数字化、智能化以及批量生产 , 因 而从问世起就引起了广泛关注 , 并且在汽车、医药、导航和控制