电子工业用气体氨编制说明.docxVIP

PAGE PAGE # 《电子特气 氨》 国家标准征求意见稿编制说明 标准起草工作组 2020年4月 一、工作简况 （一）任务来源 氨在常温常压下是一种易燃、有腐蚀性、有毒的气体。氨是一种重要的电子气体，也 是一种重要的工业基础材料，广泛应用于半导体产业的集成电路 IC、液晶显示器LCD、 半导体发光器件 LED 以及太阳能电池 PV 等行业。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐 减少，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我 国的光伏产业得到了迅猛发展。 在生产制造太阳能电池及 LED 芯片过程中， 都需要用到大 量的超纯氨作为氮源，因此，重新修订电子工业用氨的国家标准是我们必须要进行的一项 具有深远意义的重要工作。 随着用户对太阳能电池发光效率和 LED 亮度要求越来越高， 对作为氮源的超纯氨气的 纯度要求也越来越高， 2009版国标中的产品纯度已经不能满足市场和技术的需求。 为适应 市场需求，促进我国氨产业和电子工业更快的发展，并提高其国际竞争力，急需修订 2009 版的国家标准。根据国标委综合〔 2019〕22 号文，国家标准化管理委员会于 2019年下达 了修订计划号：T-469 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，由于标准计划下达时只能下 到总会，因此计划上是由总会归口。但是实际本标准修订工作是由气体分会组织并归口。 本标准起草单位：。 （二）工作过程的说明 2019年国家标准化管理委员会下达了“ 2019 年第二批国家标准制修订计划”（国标 委综合〔 2019〕22 号），《电子工业用气体 氨》正式立项，标准由全国半导体设备和材 料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准化技 术委员气体分会组织苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大 连保税区科利德化工科技开发有限公司、福建久策气体集团有限公司、海宁市英德赛电子 有限公司、浙江建业化工股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析 技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海） 有限公司、上海飞择科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司等相关单位做了大量的 前期调研及草案起草工作。 标准起草小组首先开始搜集相关的资料， 国际半导体设备与材料组织 （SEMI ）制定的 国际工业标准中，现行氨标准是： SEMIC3.12-1102《瓶装氨标准，纯度 99.998%〉，由于 该标准纯度偏低，起草小组未采用。起草小组对国际、国内电子氨产品生产情况进行了深 入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于 2019年 10月份提 出了标准的草案，提交 2019 年年会讨论。针对修改意见，起草小组提出了讨论稿。讨论 稿技术要求见表表4?表6。2019年12月，标准起草小组在上海召开标准讨论会，广泛 征求企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的基本结构、范围、技术指标、检验 方法等进行了认真的讨论。提出了如下的意见： (1 )“ 1 范围”：增加“本标准适用于工业氨提纯制备的高纯氨。” “3技术要求”：将表1中“烃(C1~C3)含量”修改为CH4含量、非甲烷烃 含量；取消 5N5、6N4、7N 的指标分类方式，请各生产企业按照集成电路、光伏、平板显 示、 LED 等分行业、分用途梳理客户要求的技术指标；删除表 3 中的气相指标。 ( 3)单列检验规则。 “4.1 抽样、判定和复验”：将金属元素含量的测定修改为每个月定期检测一 次。 “4.4 氢、氧+氩、氮、烃( C1?C3) 、一氧化碳、二氧化碳含量 的测定”： 色谱分析方法没问题，主要是烃类检测，请色谱验证平台单位开展验证工作后再修改。 ( 6)第 5 章分为三部分内容来编制：( 1 )标志( 2)包装、运输和贮存( 3)安全 警示。 ( 7)“5.1 标志、包装及贮运 ”：增加《移动式压力容器安全技术监察规程〉 (TSG R0005)、并增加ISO TANK、T瓶、Y瓶的包装规范。 ( 8) “ 5. 1 .3” ：不分电子级和光电子级，只需写上可以使用的阀门型号。 (9)“5.1.9”： “用户返回的氨钢瓶的余压不应低于 0.2MPa”。修改为“用户返回 的氨钢瓶的剩余重量不宜低于充装量的 5%”。 针对以上意见，起草小组制定了标准验证试验的方案，于 2020年3月~5月开展了验 证试验，并提出了征求意见稿，面向全社会征求意见。征求稿技术要求见表 9、表 10。 二 国家标准编制原则和确定标准主要内容 从目前掌握的资料来看，与电子氨相关的SEMI标准是SEMIC3.12-1102,这个标准规 定的纯度为 99.998%，无法满足