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小匕 Peking uni Optical mEms 1 小匕 Peking uni Optical mems 心MEMS发展回顾 光纤通信中的应用 ◆光学研究和应用 ◇光数据存储 心其它应用 小匕 Peking uni MEMS发展回顾 微电子机械系统《 Micro Electro mechanical Syste,写为s) 微系统 微机械 心欧洲和美国“微世界”的研究是由半导体工艺技 术启动,即带有机械的微电子技术,固称之为微 电子机械系统( Micro Electro Mechanical Systems, 美国惯用词)或称之为微系统( Microsystems,欧洲 惯用词) ☆日本实现“微世界”( Micro world)以系统方式 从杋械电子( Machatronics开始。固称之微型机械 ( Micromachine,日本惯用词)。 小匕 Peking uni MEMS发展回顾 心从广义上讲,MEMS是指集微型传 感器、微型执行器以及信号处理 和控制电路,甚至接口电路、通 信和电源于一体的微型机电系统 图1是一典型的MEMS示意图。由 信旦处理单元 传感器、信息处理单元。执行器 和通讯/接口单元等组成。其输 入是物理信号,通过传感器转换 为电信号,经过信号处理(模拟 的和/或数字的)后,由执行器 与外界作用。每一个微系统可以 控制量 采用数字或模拟信号(电、光 磁等物理量)与其它微系统进行 通信。MEMS在航空航天、汽车、 工业、生物医学、信息通讯、环 境监控和军事等领域有着广阔的 应用前景。 小匕 Peking uni MEMS发展回顾 ◇1959年就有科学家提出微型机械 的设想,但直到1962年才出现属 于微机械范畴的产品一硅微型压 力传感器。其后尺寸为50~500 微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮 及联接件等微型机构相继问世。 而1987年由华裔留美学生冯龙生 等人研制出转子直径为60微米和 100微米的硅微型静电电机,显 示出利用硅微加工工艺制作微小 可动结构并与集成电路兼容制造 微小系统的潜力,在国际上引起 轰动,科幻小说中描述把自己变 成小昆虫钻到别人的居室或心脏 中去的场景将要成为现实展现在 人们面前。同时,也标志着微电 子机械系统(MEMS)的诞生 小匕 Peking uni MEMS发展回顾 近年来,随着微机电系统技术的不断成熟,其应用领域不断拓宽 电系统技术与微光学相结合而形成的微光机电系统 目前,MEMS输出力矩小成为其发展的一个屏障。而光系统无需 力矩输出,由于通过微机电系统技术实现了可动结构,使得 MEMS)受到人们更大的关注。可移动结构对光系统来说是非常 诱人的,因为小的机械位移常常产生比传统光电或自由载流子效 应更强的物理效应。如,在干涉仪中1/4波长的位移能产生开/断 开关的作用。所以,自从微机电系统技术实现了可动结构以来 微光机电系统为光学装置功能的扩展和光学系统的微型化提供了 空前的发展机会。当前,光学正处在与几十年前集成电路发明前 的电子学相同的阶段,其发展前景是非常诱人的。微光机电系统 在光学研究、数据存储、光纤通信、图象处理和传感系统等领域 中都有广泛的应用。 小匕 Peking uni 光纤通信中的应用 随着世界通信业务量的飞速增长,光传送 网技术已成为国际上的研究热点。据佔计 以光电子信息技术为主导的信息产业产值将 在2019年达五万亿美元,成为二十一世纪最 大的产业。 小匕 Peking uni ·研究热点随着世界通信业务量的飞速增长,光传送 网技术已成为国际上的研究热点。(全光通信网 WDM全光网、光传送网是同一事物的不同名称,最 斤ITU的建议是光传送网 optical transport network)。 趋势九十年代初,在一些发达国家中,人们预计原 有的铜电缆会从2019年起逐渐被FTTH(光纤到户) 代替。2019年这种趋势已被证实。但是,步子已经放 慢,特别是光纤到户。光传送网的推广,光纤到户能 否实现,取决于网络的价格,只有价格到了可接受的 地步,才能真正进入家庭,光传送网中低价位光学元 器件是降低光传送网成本的关键。 小匕 Peking uni ·原因传统的光纤网络中存在大量的光电、电光转换 节点和数字交叉互联电分插复用器, ·1)既限制了网络的交换速度, ·2)又对不同形式的光信号是不透明的 3)功能器件和波导或光纤的连接需要亚微米的定位 精度,精密定位是复杂的调整操作,所以提高了光功 能器件的成本,限制了光传

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