CF制程特性与检测.pptVIP

30/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ RGB- 色度） GREEN WHITE （ Y ） RED BLUE 色 相 Yxy 表色系 CIE 色度图 x = X ＋ Y ＋ Z X y = X ＋ Y ＋ Z Y Y: 亮度 X,Y,Z ：三刺激値 ? 亮度以 Y 值来表示（并未表现 于色度图中） ? 色相与彩度以 xy 坐标来呈现 ? 以 WHITE 为中心愈往外侧色 彩愈鲜艳 ? 受光阻原料、成分、膜厚影 响 31/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ RGB- 色度） 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 y x 520 530 540 550 510 560 570 580 590 600 610 620 700 ～ 780 500 490 480 470 460 380 ～ 400 NTSC 规格 何谓 NTSC 比： 实际产品的 RGB 色坐标形成的三角形与标准 NTSC 三角形的面积比 NTSC 比越大，色域范围越广，能合成的色彩也 更多，通俗来讲，显示色彩会更丰富多彩、鲜艳 亮丽 色再现领域 色域规格 ■ NTSC(National Television System Committee) ｘ ｙ ｘ ｙ ｘ ｙ 0.67 0.33 0.21 0.71 0.14 0.08 ＲＥＤ ＧＲＥＥＮ ＢＬＵＥ NTSC 规格为理想色域。 32/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ RGB-CD Overlay ） BM R OL1 R OL2 因为 RGB 是以 BM mark 为基准进行对位曝光，曝光的位置精度就通过 RGB 与 BM 边框的重叠区域大小（ Overlay ）来衡量。 最佳值是： Overlay 1=Overlay 2 R CD B CD G CD 33/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ RGB-CD Overlay ） OL OL Overlay 偏移，一方面可能导致漏光，另一方面可能和其他色阻膜层造成重叠堆高 34/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ PS ） PS 高度 CD Overlay Photo Spacer 的高度 （即膜厚） 主要针对前段制程，光阻涂布 主要针对后段制程，曝光、显影 Photo Spacer 的线宽 通过与 BM test key 的重叠 区域线宽来衡量曝光精度 35/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ PS ） ? PS 为 Photo Spacer 的简称，即光阻隔垫物； ? 为保持 TFT 基板与 CF 基板贴合时的均匀平坦度、以及提供液晶分 布的 Cell Gap （间隙）而设计制作。 TFT 基板 CF 基板 液晶 Cell Gap(3 ～ 4μm) PS(CF 基板配置 ) Sub PS Main PS 36/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ PS- 高度 CD ） B Base B Base PS Height （ Base on B ） 上底 CD 下底 CD 37/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ PS- 高度 CD ） CF 基板 TFT 基板 PS 高度：正常 CF 基板 PS 高度：低 ( 异常 ) TFT 基板 CF 基板 TFT 基板 PS 高度：高 ( 异常 ) “气泡”间隙 液晶量相同时， PS 高度变化会造成各种不良产生，因此 PS 高度的管理是重要的 液晶 PS PS 引起的不良情况（整体异常） 38/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ PS- 高度 CD ） 光晕 mura TFT 基板 CF 基板 CF 基板 TFT 基板 条状 mura 若 PS 高度（ Cell Gap ）局部急剧变化时，这部分就会产生 mura PS 引起的不良情况（局部异常） 39/82 CSOT-CONFIDENTIAL 二、 CF 制程的特性 2.CF 制程黄光特性值（ PS-Overlay ） BM Mark PS Mark PS Overlay Test Key 通过计算 PS Mark 与 BM Mark 在 X 、 Y 方向上