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气敏传感器  课程主要内容 1.气敏传感器应用示例 沈阳工 2气敏传感器的分类 了 3.气敏传感器的主要参数及特性 4金属氧化物的半导体化 大5表面电阻控制型气体敏感元件电极 学6体电阻控制型气体敏感元件 7.非电阻型气体敏感元件 陶瓷管 8基于MEMS技术的气体微传感器  1气体传感器应用示例 可燃性气体传感器外形 氧化碳传感器 沈 区7 业 酒精检测 汽车尾气分析 大 学  2气敏传感器的分类 表面控制型 电阻型 半导体式 容积控制型 沈阳工业大学 表面电位 气敏传感器 非电阻型 整流特性 阈值电压 浓差电极 固体电解质式 合成电位 恒电位电解池 电化学式 「氧电极 接触燃烧式 燃烧热  2气敏传感器的分类 半导体气敏元件的分类 电导控制型,以金 电压控制型,以 属氧化物为主 流阳工业大学 硅为主 主要物理特性 传感器举例 工作温度 代表性被测气体 表面控制型 氧化锡、氧化锌 室温~450℃ 可燃性气体 电阻式 体控制型 氧化钛、氧化钴 300~450℃ 酒精、可燃气体、氧气 氧化镁、氧化锡 700℃以上 表面电位 氧化银 非电阻武二极管整流特性 /硫化镉、铂/氧化钛 室温-200氢气、一氧化碳、酒梢 晶体管特性 铂栅M0S场效应管 氢气、硫化氢  3.气敏传感器的主要参数及特性 (a)灵敏度:对气体的敏感程度; 沈|(b)响应时间:对被测气体浓度的响应速度 阳(c选择性:指在多种气体共存的条件下,气敏元件区分气体种类的能力 工|d稳定性:当被测气体浓度不变时,若其他条件发生改变,在规定的时间内 气敏元件输出特性保持不变的能力; 业 e)温度特性:气敏元件灵敏度随温度变化而变化的特性; 大 (f湿度特性:气敏元件灵敏度随环境湿度变化而变化的特性; 学|(9电源电压特性,指气做元件灵做度随电源电压变化而变化的特性 h)时效性与互换性:反映元件气敏特性稳定程度的时间,就是时效性 号元件之间气敏特性的一致性,反映了其互换性。  3.气敏传感器的主要参数及特性 实际应用对气敏传感器的要求 (a)具有良好的选择性; 沈阳工业大学 (b)具有较高的灵敏度和宽响应动态范围; (c)性能稳定 (d)响应速度快,重复性好; (e)保养简单,价格便宜  4.金属氧化物的半导体化 人为在金属氧化物能带结构的禁带中形成或增加附加能级的 沈 过程称为金属氧化物的半导体化。 阳 z/MO晶体中的缺陷 业 大 F )M/OM 学 O M O M O M o M o Fr O M (a)空位与间隙壞子 (b)反结钩缺陷句杂质缺陷  4.金属氧化物的半导体化 2+O2-M2O2 流阳工业大学 (bvoY能级位汽 图38离子晶体中坛陷及级 V→V+e电离能E1V+→V2+e电离能 氧空位起施主作用 Vn→Vm+h电离能EV→V2+h电离能E 金属空位起受主作用  4金属氧化物的半导体化 对于间隙原子 沈 M1→M1+e→M2+2e 金属起施主作用 阳 O→O+h→O2+2hc→氧起受主作用 工|对于反结构缺陷,共价键化合物中,0替代M时,电离产生电子形成施主 / O→O+e-O2++2 大 学对于反结构缺陷,共价键化合物中,M替代o时,电离产生空穴形成受 主能级。 M。M。+h→M。+2h