谐振式陀螺螺仪的研究的报告.pptVIP

谮振式陀螺仪研究报告  MEM陀螺仪正作原理 MEMS陀螺仪利用科里奧利力 旋转物体在有径向运动时所受到 的切向力。在空间设立动态坐标 系,如右图。用以下方程计算加 r=ro 速度可以得到三项,分别来自径 =×石 向加速、科里奥利加速度和向心G V十 加速度 d-r F-21 XO-or  MEMS陀螺仪工作原理 如果物体在圆盘上没有径向运动, 科里奥利力就不会产生。因此 MEMS陀螺仪的设计上,这个物 体被驱动,不停地来回做径向运 传感震荡方向 动或者震荡,与此对应的科里奥 力就是不停地在横向来回变化, 有可能使物体 荡,相位正好与驱动力差90度。M EMS陀螺仪通常有两个方向的可移 动电容板,如图。径向的电容板加 震荡电压迫使物体作径向运动 (有点象加速度计中的自测试模 式),横向的电容板测量由于橫 向科里奥利运动带来的电容变化 就象加速度计测量加速度 因为科里奧利力正比于角速度, 所以由电容的变化可以计算出角 速度  VEM陀螺仪的结构 Sense 绝大多数MMS陀螺仪依赖于由相 direction 互正交的振动和转动引起的交变 科里奧利力。振动物体被柔软的 ky 弹性结构悬挂在基底之上。整体 C k 动力学系统是维弹性阻尼系统,[mM→ 在这个系统中振动和转动诱导的 Seismic mass 科里奥利力把正比于角速度的能 出cp 量转移到传感模式,如图。  VEM陀螺仪的结构 一般的微机械陀螺仪由梳子结构 的驱动部分和电容板形状的传感 部分组成。有的设计还带有去驱 动和传感耦合的结构。 Direction Sense Directon Proof  MEM陀螺仪的特点及分类一 目前,世界上许多研究单位、公司都在结合自己国内的加 工手段及信号检测措施对微机械陀螺展开硏究。微机械陀 螺的种类很多,按驱动方式可分为静电驱动陀螺、电磁驱 动陀螺和压电驱动陀螺等;按检测方式可分成电容式陀螺、 谐振式陀螺、压阻式陀螺、压电式陀螺、光学陀螺和隧道 陀螺等。相比于其他类型的微机械陀螺,谐振式微机槭陀 螺具有高灵敏度、大动态范围等特点,其准数字输出也使 其更易于与数字信号处理系统集成。  谐振式陀螺仪工作原理 微机械谐振式陀螺仪的结构主要 梳齿质量块 分成3大块:陀螺质量块、杠杆 双端音又 传递部分和谐振器。其中,陀螺质 谐振器 量块用于敏感输入角速度,杠杆传新 递部分是用来放大哥氏( Corioli 力,谐振器主要是把陀螺质量块 输出给它的轴向哥氏力转化成相 应的频率输出。  国外研究状况 美国研究现状 日本研究现状 ·欧洲研究现状  国研究现状 Northrop, Honey well等公司和斯坦福大学等都是赫赫有 名的研究机构。比较具有代表性的是 Northrop公司。如今, 其生产的光纤陀螺产品有FOG200,600,1000,2500等系 列,分为导航类、战术类、民用航空类和太空类,应用 在陆地、海洋、太空等领域,精度为1°/h~0.001 °/h,既有单轴结构,也有双轴、三轴结构。  日本研究现状 其主要的研究机构有东京大学尖端技术室和日立、住友电 工、三菱、日本航空电子工业(JAE)等公司。其最重要的 贡献在于简化了干涉型光纤陀螺的系统配置,大大地降低 了系统成本,使光纤陀螺的民用范围得到很大的扩展,例 如:用于汽车导航系统、清洁机器人、光罗盘、农用直升 机姿态控制系统等。