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6.5 非制冷红外焦平面探测器 6.5.3 微测辐射热计 微测辐射热计 辐射热效应的探测 辐射热效应是因吸收红外辐射产生温度变化而引起探测器电阻变化的现象。 直流桥式辐射热测量电路 交流辐射热测量计电路 ➢ 桥式电路中(左图) ，有红外辐射入射时，被暴露的探测器温度升高，进 而引起其电阻变化，破坏了电桥的平衡，使得有相应的电流流过R 。 2 ➢ 交流电路中（右图），只有测辐射热计两端电压的变化量才能通过耦合 电容器传给信号读出电路。 微测辐射热计 ➢ 以VOx 、多晶-Si或非晶-Si等薄膜为热敏材 料； ➢ 采用微机械加工技术(MEMS)把探测器做 Honeywell公司开发的 成微桥结构，探测器在IC －CMOS读出电 VO 微测辐射热计 x 路衬底上做成悬空的微桥，形成良好的热 隔离； ➢ 探测器吸收红外辐射，产生温升，热敏材 料的电阻率发生变化，在外接电路的作用 下输出响应信号。 法国Sofradir公司的 有缘学习更多+谓ygd3076考证资料或关注桃报：奉献教育（店铺） 多晶硅微测辐射热计 微测辐射热计 与热释电FPA相比： ➢ 采用硅集成技术，成本低；☺ ➢ 有好的线性响应和高的动态范围；☺ ➢ 像元间绝缘性好，串音少，图像清晰度高；☺ ➢ 低1/f 噪声，高帧速，和潜在的高灵敏度（理论上可达0.01K)。☺ ➢ 但偏置电路功耗大，噪声带宽宽。