6.6.1 微悬臂梁成像器件.pdf

第六章 红外热成像器件与技术 6.6 光学读出成像器件 光学读出成像器件 ◆ 微悬臂梁成像器件 ◆ 热光阀调制成像器件 6.6 光学读出成像器件 6.6.1 微悬臂梁成像器件 微悬臂梁成像器件 双材料微悬臂梁红外探测器焦平面阵列 ➢ 一种热机械的非制冷红外探测器 —— 微机电系统MEMS(Micro- Electro-Mechanical System) 技术 发展的产物，利用机械力学性质探 测红外辐射。 ➢ FPA单元吸收入射红外辐射产生温 升时，组成微悬臂梁的双材料热膨 胀系数不同，悬臂梁会弯曲变形。 （微梁单元尺度200μm ×200μm ，单材 ➢ 利用光学方法检测这种热致形变进 而可转化为热红外图像。 料梁宽2μm ，微梁宽10μm 。整个微梁 阵列由100 ×100个微量单元组成。） 微悬臂梁的变形结构 Au 变形结构主要由回折次数n的多组回折梁组成。回折结构中，包含一 个SiN ／Au双材料变形梁和一个单材料SiN 回折梁构成，镜面采用 x x SiNx ／Au双材料层结构。 有缘学习更多+谓ygd3076考证资料或关注桃报：奉献教育（店铺） 微悬臂梁的变形结构 双材料结构和回折结构，能够很好的实现散热功 能，使探测器工作的时候参考温度保持恒定，测 量值更加准确。 基于MEMS微悬臂梁的光学读出成像系统 目前实验室能达到的性能与理论计算 还有很大程度的差距，其潜在的制作 简单、成本低的优势将有待未来技术 发展的开发。 有缘学习更多+谓ygd3076考证资料或关注桃报：奉献教育（店铺） 基于热光阀的光学读出成像系统 ➢ 当窄带近红外光源 “探测”到芯片上的每个像元的温度时，对应像 元的探测信号将被反射出的芯片，落在CMOS相机的传感器上。 ➢ 因反射信号的大小与像元温度有关，故反射出来的信号光代表景物 温度分布特性。